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| 應用領域 | 食品/農產品,化工,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣 |
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NIDEC尼得科 壓力傳感器 PA-920S-103R-C2
NIDEC尼得科 壓力傳感器
一、基本參數
壓力相關參數:為復合壓傳感器,型號中 “103R" 對應 - 0.1~1MPa 的額定壓力量程,可承受的最大壓力為 1.5MPa;測量精度達 ±1% F.S.,0 - 50℃補償溫度區間內溫度特性僅 ±0.01% F.S./℃,能減少溫度變化對氣壓測量精度的影響。
供電與輸出:屬于 PA - 920S 系列,采用 1 - 5VDC 電壓輸出模式,可直接對接半導體設備控制系統,無需額外信號轉換器;適配 12 - 24VDC±10% 的供電電壓,契合工業場景常見供電標準,最大消耗電流為 20mA(供電 24V、輸出電流 0mA 工況下)。
耐高溫與環境適配:工作溫度范圍 - 20~70℃,儲存溫度 - 20~80℃,工作濕度為 35 - 85%RH 且需無結露;具備 IP40 防滴結構,可應對車間輕微粉塵、水滴侵襲,避免內部電路故障;絕緣電阻zui低為 50MΩ,能保障電路運行安全。
結構與防護細節:配備 1.125 英寸 C 型密封接頭(C2),適配對應規格供氣管路;感壓接觸部位采用 SUS316L 雙熔接材料,且經過電解拋光處理,介質流道內 0.1μm 及以上尺寸的顆粒數為零;不含線纜時凈重約 90g,外形尺寸為 φ20×66 - 92.2mm,小型化設計適配狹小安裝空間。
二、核心性能參數
適配復雜氣壓場景:復合壓測量量程可覆蓋 - 0.1~1MPa,既能監測半導體設備供氣系統啟動時的負壓狀態,也能精準捕捉運行中的正壓變化,相比單一表壓傳感器適用范圍更廣,適配半導體蝕刻、CVD 等設備的全流程氣壓監測。
密封耐腐蝕雙保障:傳感器芯片與接頭采用一體焊接結構,杜絕特種工藝氣體泄漏風險;SUS316L 雙熔接材料不僅能耐受腐蝕性氣體,還能通過電解拋光處理保障介質潔凈度,契合半導體領域對氣體接觸部件的嚴苛要求。
安裝維護便捷高效:采用連接器式安裝設計,大幅簡化了集成式氣體系統的布線與裝配流程,后期檢修時無需復雜接線操作,可快速完成傳感器的拆卸與更換,減少半導體生產線的停機時間。
適用場景:核心適配半導體制造領域,比如 CVD(化學氣相沉積)設備、蝕刻設備的氣體供給系統,可對管路內特種工藝氣體從負壓啟動到正壓穩定輸送的全流程氣壓進行高精度在線監測;同時也適用于半導體工廠的氣體箱體、供氣干線等關鍵節點。此外,還能拓展到精密化工、電子制造等需要同時監測負壓和正壓,且對耐腐蝕性、測量精度有較高要求的場景。







