山本鍍金 電鍍設備  陽極夾具

優良封裝、MEMS 實驗室大尺寸硅片電鍍配套部件，用于 TSV 填孔、UBM、RDL、凸點工藝研發，日系進口科研級陽極夾持配件，僅工藝小試使用，不匹配量產產線。A-52-ST-P09 是 A-52 旋轉電鍍槽原廠大尺寸陽極夾具，用于固定陽極極板、規整電場流場，保障 2~12 英寸晶圓精密電鍍鍍層均勻性。

山本鍍金 電鍍設備  陽極夾具

上下分體對稱結構

可上下雙陽極布置，適配晶圓雙面同步電鍍，電場對稱均衡，正反面鍍層一致性優異。

陽極間距可調

支架安裝位置可微調，靈活匹配不同工藝所需陰陽極間距，調控電流密度分布。

自帶陽極濾袋配置

標配陽極布袋截留陽極溶解碎屑，杜絕顆粒雜質附著晶圓，減少鍍層針孔不良。

背部導流槽設計

優化槽內藥液流動，配合槳葉攪拌強化微孔藥液置換，改善 TSV 高深寬比填孔效果。

耐蝕絕緣材質

主體亞克力 / PPS 耐腐蝕結構，耐受常規酸堿鍍液；PPS 款耐熱可達 80℃，適配高溫電鍍工況。

原廠整機匹配

一對一對應 2/4/6/8/12 英寸 A-52 槽體，搭配陰極卡匣、攪拌槳、液位溫控組件即裝即用，無需改制。

兼容多類型陽極

可安裝可溶性磷銅、鎳陽極，也適配鈦網、鉑網等不溶性惰性陽極，適配各類銅、鎳、金、鈀電鍍體系。

拆裝維護簡便

陽極板插拔更換快捷，濾袋可拆洗更換，日常清理運維簡單，長期運行故障率低。