山本鍍金 電鍍設備 攪拌槳葉裝置排氣泡

A-52-ST-P04D 往復槳式攪拌裝置，平行晶圓往復擾動更新表面鍍液，削弱濃差極化、優化微孔離子補給，提升整片晶圓鍍層均勻性，A-52 旋轉電鍍系統標配流場強化配件。

山本鍍金 電鍍設備 攪拌槳葉裝置排氣泡

單面 / 雙面電鍍雙構型可選

單面款匹配 P02B/P02C 密封陰極盒；雙面款適配 P02A 敞開式陰極卡匣，一套機構兼容兩類電鍍模式選型。

耐蝕防腐槳葉材質

槳桿、槳葉采用 PEEK/PTFE 耐酸堿材質，長期浸泡各類酸性、堿性電鍍藥液不腐蝕、不變形，適配常規電鍍恒溫工況。

原廠模塊化無縫裝配

對位 A-52-ST 全系列槽體開孔，直接原位安裝替換，原有陽極架、循環過濾、溫控、液位組件全部兼容，無需改制加工。

抑制氣泡減少鍍層瑕疵

動態擺動剝離晶圓表面析氫氣泡，杜絕針孔、麻點、局部漏鍍，提升高深寬比結構填充飽滿度與良率。

運行穩定重復性優異

擺動勻速平穩、流場一致性可控，多批次平行電鍍試驗數據偏差小，滿足工藝定型、論文數據溯源要求。

安全合規防護配置

整機滿足 IEC61010、EN61326 安規標準，可選配 PVC 外殼防濺防護板，防止電鍍液飛濺，實驗室操作安全性更高。