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日本FUJIKIN富士金手動球形三向振膜閥FUNDLTB-71G-6.35的應用
日本Fujikin(富士金)? 是一家創(chuàng)立于1930年的日本精密技術企業(yè),以“挑戰(zhàn)技術界限、超越技術局限"為理念,從初的管道材料批發(fā)商發(fā)展為全球的?精密流體控制設備制造商?。其產(chǎn)品廣泛應用于半導體制造、航空航天、氫能、食品、二次電池等高精尖領域,是支撐現(xiàn)代工業(yè)極限制造的關鍵力量。
專為半導體制造中潔凈環(huán)境設計,控制高純度氣體(如硅烷、氨氣)的輸送,防止微粒污染。
?New Mega系列膜片閥?:采用全金屬密封結構,耐高溫高壓,適用于CVD、蝕刻等工藝。
?Mega系列膜片閥?:具備極低的顆粒釋放特性,滿足Class 1潔凈室要求。
?標準系列 & 高溫閥系列?:覆蓋常規(guī)與高溫工況下的氣體控制需求。
?兩段切換式氣動閥?:實現(xiàn)氣體供應的平穩(wěn)切換,避免工藝中斷。
利用自主研發(fā)的?精細陶瓷材料?,具備強耐腐蝕、耐磨損性能,適用于強酸、強堿等惡劣工況。
?精密陶瓷球閥?:可長期運行于pH 0~14環(huán)境,廣泛用于化工與環(huán)保設備。
?陶瓷控制閥?:用于高磨損漿料或腐蝕性液體的流量調節(jié)。
面向大宗氣體(BULK GAS)和液化氣罐系統(tǒng),提供高流量、高可靠性的控制解決方案。
?波紋管閥HFC系列?:零泄漏設計,適用于液氧、液氮等低溫介質。
?膜片閥SPDS系列 & 球閥CBV系列?:支持自動化控制,集成于大型供氣系統(tǒng)中。
確保氣體傳輸路徑的完整性與潔凈度。
?V-lok系列卡套接頭?:一鍵鎖緊,防誤操作,廣泛用于半導體廠的Gas Panel。
?F900系列卡套接頭 & UPG/UPR接頭系列?:支持多種管徑與壓力等級,適配復雜管路布局。
將閥門、流量計、傳感器等集成于一體,提供即插即用的工藝解決方案。
?IGS模組化氣體供應系統(tǒng)?:用于半導體前道工藝,實現(xiàn)多氣體混合與分配。
?FCS-T2000熱式流量計 & FCS-P壓力式流量計?:實時監(jiān)控氣體流量,保障工藝穩(wěn)定性。
?潔凈度?:產(chǎn)品可在Class 1(每立方英尺0.1μm顆粒≤1個)環(huán)境下使用,滿足嚴苛的半導體工藝要求。
?材料?:全球將精細陶瓷應用于工業(yè)閥門,解決強腐蝕難題。
?全球化布局?:在日本、美國、愛爾蘭、中國(上海、蘇州)、韓國、越南等地設有生產(chǎn)基地與銷售網(wǎng)絡。
?本土化服務?:富士金閥門(上海)有限公司提供銷售、技術支持與售后服務,曾接受央視《非凡匠人》專題報道。
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