日本進口PROTEC電動紗線鋪平機SC-130C的應用
PROTEC的產品主要圍繞“看準"和“對準"兩大功能:
對準顯微鏡
這是PROTEC的產品。它們不是普通的顯微鏡,而是集成了高分辨率光學鏡頭、**照明系統和精密載物臺的系統。
特點: 極長的工作距離(可以在不接觸的情況下觀察樣品)、景深(能同時看清高低不平的表面)、優異的像差校正(圖像無扭曲)。
應用: 用于檢查晶圓上的微小電路、光掩模版、封裝后的芯片等。
掩模對準系統
這是半導體和微電子制造中的關鍵設備。用于將光掩模版(相當于照相底片)與硅片(晶圓)進行超精密對準,然后進行曝光(光刻)。
PROTEC提供從手動、半自動到全自動的各類對準系統,精度可達亞微米甚至納米級別。
芯片貼裝/鍵合對準系統
用于封裝工藝,如倒裝芯片。在將一顆芯片地貼裝到基板或另一顆芯片上時,需要精度的對準。PROTEC的系統能確保兩者之間的微米級電路對齊。
精密測量與檢測系統
基于其光學和圖像處理技術,提供用于測量線寬、距離、位置等的專用設備。
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