日本FUJIKIN富士金不銹鋼鍛造針閥M2的應用
專為半導體制造中潔凈環境設計,控制高純度氣體(如硅烷、氨氣)的輸送,防止微粒污染。
?New Mega系列膜片閥?:采用全金屬密封結構,耐高溫高壓,適用于CVD、蝕刻等工藝。
?Mega系列膜片閥?:具備極低的顆粒釋放特性,滿足Class 1潔凈室要求。
?標準系列 & 高溫閥系列?:覆蓋常規與高溫工況下的氣體控制需求。
?兩段切換式氣動閥?:實現氣體供應的平穩切換,避免工藝中斷。
利用自主研發的?精細陶瓷材料?,具備強耐腐蝕、耐磨損性能,適用于強酸、強堿等惡劣工況。
?精密陶瓷球閥?:可長期運行于pH 0~14環境,廣泛用于化工與環保設備。
?陶瓷控制閥?:用于高磨損漿料或腐蝕性液體的流量調節。
面向大宗氣體(BULK GAS)和液化氣罐系統,提供高流量、高可靠性的控制解決方案。
?波紋管閥HFC系列?:零泄漏設計,適用于液氧、液氮等低溫介質。
?膜片閥SPDS系列 & 球閥CBV系列?:支持自動化控制,集成于大型供氣系統中。
確保氣體傳輸路徑的完整性與潔凈度。
?V-lok系列卡套接頭?:一鍵鎖緊,防誤操作,廣泛用于半導體廠的Gas Panel。
?F900系列卡套接頭 & UPG/UPR接頭系列?:支持多種管徑與壓力等級,適配復雜管路布局。
將閥門、流量計、傳感器等集成于一體,提供即插即用的工藝解決方案。
?IGS模組化氣體供應系統?:用于半導體前道工藝,實現多氣體混合與分配。
?FCS-T2000熱式流量計 & FCS-P壓力式流量計?:實時監控氣體流量,保障工藝穩定性。
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