日本現貨ULVAC愛發科低溫冷凍柜RM80T的應用
ULVAC的產品體系覆蓋真空系統全鏈條,主要分為四大類:
?磁控濺射系統?:
?ENTRON-EXX?:多腔體集群式PVD系統,支持多12個模塊靈活組合,用于Micro-OLED、先進封裝的金屬化工藝。
?SME、SRH、SMV系列?:適用于半導體晶圓、PCB互連層、光學薄膜的高精度濺射。
?熱蒸發系統?:用于有機材料(如OLED發光層)的高純度蒸鍍。
?CVD/ALD系統?:提供薄膜均勻性控制,滿足2.5D/3D封裝需求。
?灰化/去膠系統?:
?Luminous NA系列?:無晶圓尺寸限制,專用于先進封裝中光刻膠殘留,支持晶圓與面板(大600mm)處理。
?ENVIRO Optima?:高 ash rate(>12 µ/min),適用于HDI、TSV等高密度互連結構。
?等離子體刻蝕與清洗?:用于半導體前道工藝中的表面活化與污染物去除。
?產品類型?:高純度Cu、Al、Mo、Ti、Ta、Nb、Zr及其合金靶材。
?應用領域?:
液晶面板(FPD)
太陽能電池(CIGS、PERC)
半導體互連層(Cu damascene)
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