原裝全新USHIO牛尾超高壓紫外線燈（500W~35kW）USH系列的應用

在與設備制造商的聯合開發體系支持下，我們不斷推進開發以滿足器件制造商的各種需求，為我們的光刻用紫外燈贏得了高度贊譽和信賴。
我們擁有從500W~35kW級別的廣泛照明，提供最佳照明，提升生產力和良率。我們還提供針對客戶新設備開發量身定制的燈具開發服務。

類型	額定燈具輸入（W）	燈電流（A）	燈電壓（V）	水平輻照度（μW/cm）2) 距離坡道1米			全光束（LM）	平均壽命（h）	允許使用角度（垂直）	冷偏振（毫米）	尺寸							產品規格
類型	額定燈具輸入（W）	燈電流（A）	燈電壓（V）	360~ 370nm	400~ 410nm	430~ 440納米	全光束（LM）	平均壽命（h）	允許使用角度（垂直）	冷偏振（毫米）	L1 （毫米）	L2 （毫米）	L3 （毫米）	φD1 （毫米）	φD2 （毫米）	D3 （螺絲標準）	D4 （螺絲標準）	產品規格
USH-1005D	1,000	28	36±4	341	175	268	45,000	600	±15°	3.0	240 MAX	206	91	40	15	M6×1.0	M6×1.0	-
USH-2004MB	2,000	54	37	648	320	440	90,000	500	±15°	3.0	332 MAX	270	140	62	六角形之吻	φ27 M8×1.25	M8×1.25	-
USH-3502MA	3,500	56	62	1,070	590	880	158,000	700	±15°	6.6	336 MAX	290	145	70	六角形之吻	M8×1.25	M8×1.25	-

原裝全新USHIO牛尾超高壓紫外線燈（500W~35kW）USH系列的應用

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