單晶硅壓力變送器是工業高精度壓力測量的主流方案,以單晶硅 MEMS 芯片為核心,憑借超高精度、長期穩定、抗惡劣工況的優勢,廣泛用于化工、能源、制藥、半導體等領域。
單晶硅壓力變送器利用單晶硅材料的壓阻效應來測量壓力。當單晶硅受到壓力作用時,其晶格結構發生微小變形,導致晶體的電阻率發生變化,這種變化與所受壓力成正比。通過在單晶硅上制作惠斯通電橋電路,將電阻變化轉化為電信號變化,經過放大、處理等環節,然后輸出與壓力成比例的標準電信號。
性能特點:
高精度:單晶硅壓力變送器具有較高的測量精度,精度等級可達0.05級或更高,能夠滿足工業實踐中對高精度壓力測量的需求。
高穩定性:單晶硅材料具有良好的穩定性和抗干擾能力,使得壓力變送器的測量精度和使用壽命都得到了顯著提高。同時,單晶硅壓力變送器通常配備了好的溫度補償技術,能夠自動對溫度變化進行補償,確保在不同溫度環境下都能保持高精度的測量。
抗過載能力強:單晶硅壓力變送器采用雙過載保護膜片技術,可實現高過載保護,確保在極*工況下仍能正常工作。
易于安裝和維護:單晶硅壓力變送器體積小、重量輕,方便攜帶和安裝。同時,其結構簡單、維護方便,降低了使用成本。
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