TORAY東麗工業酸素(氧氣)濃度計應用行業以及用途
TORAY東麗酸素濃度計
從行業?用途選擇

在半導體制造過程中,氧氣的混入會大大影響產品和生產物的質量。因此,無論前道工藝還是后道工藝,都需要在設備內部氣氛氣體中監測氧氣濃度
TORAY東麗的氧氣濃度計,特別是能夠在真空環境中測量的傳感器分離型產品,具有高功能性和節省空間的特點,能夠在超高速響應和多點測量中使用,并且在大型設備制造商中被廣泛采用。

二次電池材料燒結時,負極材料燒結時需要低濃度,正極材料燒結時需要高濃度,因此需要管理不同條件的氧氣濃度。此外,由于燒結對象是粉末,還需要防止試樣氣體在入口處堵塞的機構。
TORAY東麗的氧氣濃度計可以在低濃度到高濃度范圍內進行測量,并且配備了防止傳感器劣化的過濾器

在液晶的制造過程中,濺射后的玻璃基板的退火處理在氮氣氣氛下進行,但在此過程中需要管理氧氣濃度。
TORAY東麗擁有能夠在低濃度下進行準確且快速測量的氧氣濃度計。

在半導體、液晶、電子元件、光學鏡頭的制造現場,廣泛使用加熱爐、流體回流爐、干燥爐等各種熱處理設備。用于內部氣氛管理的氧氣濃度計也需要能夠應對各種情況和高溫。
TORAY東麗提供適用于各種裝置的氧氣濃度計。此外,我們還配備了用于吸收加熱爐產生的粘合劑等的過濾器。

在鏡頭的制造過程中,我們會進行光學部件的熱處理以及為了防止部件變質的退火處理。這些處理需要對裝置內的氣氛氣體進行靈活控制。
TORAY東麗可以提供適用于廣泛測量領域的氧氣濃度計。
可應對產品
TORAY東麗鋯英石式氧濃度計LD-450/SD傳感器
TORAY東麗鋯石醚式EtherCAT氧濃度計LD-600/SD傳感器
TORAY東麗鋯英石型多點氧濃度計MS-500/MS-510/SD傳感器
TORAY東麗鋯英石式氧濃度計LC-450A
TORAY東麗鋯石氧濃度計LC-450D
TORAY東麗鋯石氧分析儀LC-860
TORAY東麗鋯石氧分析儀LC-750L系列(低濃度用)
TORAY東麗鋯石氧分析儀RF-400-01



半導體 / 電子行業:真空爐、濺射、擴散爐、退火爐等高純制程殘氧監測,保障精密器件生產良品率。
化工 / 空分行業:高純氮氣、氬氣等惰性氣體微量氧檢測,以及反應釜工藝氧含量安全聯鎖管控。
熱處理 / 冶金行業:保護氣氛爐、燒結爐、回流焊、淬火爐氧濃度精準調控,避免工件氧化、脫碳。
食品 / 醫藥行業:氣調包裝、充氮封裝產品在線殘氧監測與抽檢,穩定產品儲存保質期。
環保 / 能源行業:鍋爐、燃燒設備煙氣氧含量監測,優化燃燒效率、降低尾氣污染物排放。
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