日本 MIYUKI 美幸輝 氣動真空蝶閥完整手冊

一、產(chǎn)品定位

MIYUKI 美幸輝氣動真空蝶閥（B 系列、BH 系列）為潔凈高真空專用通斷 / 兩段調(diào)節(jié)閥，日企原廠無塵室組裝，低放氣、超低泄漏，適配半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、鋰電脫泡、真空爐等高潔凈真空設(shè)備；僅B、BH 為純氣動款，BAZ/BAR 為電動調(diào)節(jié)型，下文只講氣動型號。

二、型號命名規(guī)則（以 B-J25、BH-N63 舉例）

1. 第==位：驅(qū)動 / 功能系列

B：標(biāo)準(zhǔn)兩位氣動蝶閥 → 僅 0° 全關(guān) / 90° 全開，單純通斷隔離

BH：兩段式雙氣缸氣動蝶閥 → 0° 全關(guān) + 0~45° 慢開 / 慢排 + 90° 全開，單閥實現(xiàn)快慢充氣 / 泄壓

2. 第二位字母：法蘭標(biāo)準(zhǔn)

J：JIS 日標(biāo)法蘭（25A/50A/80A… 設(shè)備標(biāo)配）

N：KF (NW) 快裝法蘭（實驗室、小型腔體拆裝便捷）

I：ISO-K 真空法蘭（大口徑工業(yè)真空主管）

C：CF 超高真空刀口法蘭（可高溫烘烤、極限高真空）

3. 末尾數(shù)字：公稱通徑（25A~350A）

25=DN25、40=DN40、50=DN50、63=DN63、80、100、160、200、250、300、350A

示例

B-J25：標(biāo)準(zhǔn)兩位氣動、JIS 法蘭、DN25 真空蝶閥

BH-N63：兩段快慢排氣氣動、KF63 快裝、DN63 真空蝶閥

三、通用核心技術(shù)參數(shù)（B/BH 氣動系列統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)）

真空壓力區(qū)間：常壓 10? Pa ～ 高真空 1×10?? Pa

泄漏性能

閥體內(nèi)部泄漏：≤1×10?? Pa?m3/s

閥桿軸封外泄漏：≤1×10?1? Pa?m3/s，滿足氦檢標(biāo)準(zhǔn)

材質(zhì)配置

過流腔體、蝶板：SUS304 不銹鋼，鏡面拋光、低產(chǎn)塵低放氣

標(biāo)準(zhǔn)密封：FKM 氟橡膠 O 型圈；可選 Kalrez 全氟醚（耐腐蝕、耐高溫）

耐溫規(guī)格

閥體烘烤最高：150℃

氣動氣缸環(huán)境溫度：≤40℃

氣動驅(qū)動條件

氣源壓力：0.4~0.6 MPaG，潔凈干燥無油壓縮空氣

氣缸結(jié)構(gòu)：齒輪齒條、末端氣墊緩沖，啟閉沖擊小、壽命 100 萬次 +

安裝特性：無流向限制、任意角度垂直 / 水平安裝，閥體超薄大通流導(dǎo)

電氣選配：內(nèi)置微動開關(guān)（NPN/PNP），輸出開 / 關(guān)到位信號接入 PLC

四、兩大氣動系列核心區(qū)別（選型關(guān)鍵）

1. B 系列（標(biāo)準(zhǔn)兩位通斷閥）

動作邏輯：單氣缸，僅 2 個位置：0° 全關(guān) / 90° 全開

適用場景：真空泵隔離閥、真空管路切斷、腔體總通斷、簡單抽氣隔斷

優(yōu)勢：結(jié)構(gòu)簡單、價格更低、響應(yīng)速度快

2. BH 系列（兩段快慢調(diào)節(jié)氣動閥）

動作邏輯：雙段氣缸，三狀態(tài)：全關(guān) → 0~45° 慢速開度 → 90° 全開

核心用途：腔體緩慢破真空、分段泄壓，防止膜層起泡、鋰電電解液飛濺

工藝優(yōu)勢：無需額外旁路針閥，單閥完成慢充氣 + 快速抽氣，簡化管路

五、法蘭與口徑覆蓋

法蘭：JIS / KF (NW) / ISO-K / CF 四規(guī)格原廠互換

口徑范圍：25A ~ 350A（BH 最大 350A，B 系列最大 400A）

六、核心產(chǎn)品優(yōu)勢

超高流導(dǎo)：同口徑真空閥流阻極低，抽氣 / 充氣流量大，縮短腔體循環(huán)節(jié)拍

超高潔凈等級：無塵室裝配、無油脂污染，適配半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜嚴(yán)苛潔凈要求

氣墊緩沖氣缸：蝶板無劇烈撞擊，降低噪音、延長密封件使用壽命

極低泄漏：雙層閥桿密封，長期維持高真空，穩(wěn)定腔體真空度

集成閥位反饋：出廠可預(yù)裝微動開關(guān)，自動化產(chǎn)線聯(lián)鎖控制更便捷

通用性強：真空 / 微正壓通用，氮氣、氬氣、干燥工藝氣體均可使用

七、典型應(yīng)用行業(yè)

光學(xué)真空鍍膜、PVD/CVD 半導(dǎo)體設(shè)備

鋰電池真空脫泡、真空注液、電芯烘烤爐

實驗室科研真空腔體、氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)

熱處理真空爐、光伏鍍膜、電子元件封裝設(shè)備