掃描電子顯微鏡(SEM)利用聚焦的高能電子束掃描樣品表面,實現對樣品納米級別的觀察,具備分辨率高、景深大、立體效果好且直觀的成像特點,目前被廣泛應用于材料科學、新能源、生物科學、地礦、考古、航天、建筑等眾多領域,是實驗室、精工、教學等領域所需的儀器設備之一。
你對掃描電鏡的基本原理、操作方法、應用場景了解多少呢?
我們將在“掃描電鏡100問"系列中
展開淺科普問答,
快來參與吧!
掃描電鏡通過用聚焦電子束掃描樣品表面,收集二次電子等信號來形成圖像。它能夠提供樣品表面的高分辨率圖像,通過對樣品進行不同角度的觀察和分析,可以獲得有關樣品三維結構的信息。
SEM分辨率(1-10 nm)遠高于光學顯微鏡(~200 nm);SEM景深大,適合粗糙表面成像;光學顯微鏡可呈現真實顏色,而SEM則需要借助偽彩等手段;SEM樣品制備通常比光學顯微鏡復雜,比如如鍍膜、真空要求。
生物樣品(如細胞、組織)需固定、脫水、臨界點干燥以避免形變,并鍍導電層(如金)以提高成像質量。
因為掃描電鏡的工作原理是利用電子束掃描樣品表面,電子在真空中才能有效傳播并與樣品相互作用產生各種信號,如二次電子、背散射電子等,以形成圖像。如果在大氣環境中,電子會與空氣中的氣體分子頻繁碰撞,導致電子束散射、能量損失,無法準確聚焦到樣品表面,從而無法獲得清晰的圖像。此外,大氣中的水汽、氧氣等還可能與樣品發生化學反應,影響樣品的表面狀態和觀察結果。
SEM廣泛用于納米材料形貌、金屬斷口和半導體失效分析(如線路短路、污染等),生物細胞內部結構需用TEM或超薄切片SEM(如Cryo-SEM)。
立即詢價
您提交后,專屬客服將第一時間為您服務