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日本高效率DIC迪愛(ài)生超純水防靜電裝置 eFLOW的操作說(shuō)明

eFLOW Series是通過(guò)使用DIC自主開(kāi)發(fā)的中空纖維透氣膜補(bǔ)充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置??傻玫椒乐挂蜢o電引起的 灰塵再次附著和基板圖形的防 靜電破壞的效果。
關(guān)于超純水防靜電裝置
• 由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,故障少
• 采用獨(dú)特的配管分配方式,易于控制電阻率值且穩(wěn)定性?xún)?yōu)良
• 二氧化碳供氣模組的壽命長(zhǎng)(保證期限為5年,本公司制)
CO2溶解原理
DIW在模組內(nèi)的中空纖維膜內(nèi)部流動(dòng)。其間,從中空纖維膜外側(cè)CO2溶入DIW內(nèi)。溶解的二氧化碳在DIW內(nèi)發(fā)生離子化,可使DIW具有導(dǎo)電性,消除靜電。由于使用微細(xì)中空纖維膜束,可以有效獲得二氧化碳溶解所需要的表面積。

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