日本新品ULVAC愛發科螺桿型干式真空泵MS120A的操作說明

"Model:MS"是螺桿型干式真空泵。在傳統的"Model:LS"的基礎上,提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。
特點
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,以防腐蝕。
采用ULVAC獨特設計的轉子軸,實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區域連續運行。
用途
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統,如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統,如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統,如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫療食品設備相關的真空排氣系統,如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
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