日本進口ULVAC愛發科高頻電源系統RMG-1303的使用說明

RMG是一種將高頻電源與匹配器集成在一個單元內的創新型高頻電源系統。通過將通常獨立的組件合并為一體,該系統輕量化和小型化,非常適合用于實驗和試驗性應用。此外,它能夠在低功率輸出時實現精確控制,適用于從研發到量產設備的廣泛領域。RMG提供了靈活且便捷的高頻電源解決方案。內置匹配器_高頻電源_RMG
RMG-1303 是一款 13.56MHz、300W 射頻電源,內置輸出匹配器,適用于射頻濺射和等離子 CVD 蝕刻等等離子體工藝。 匹配器和射頻電源的集成使其更小、更輕。 它可以從低輸出進行控制,并且可以用于廣泛的領域,從研發應用到批量生產設備。
高頻電源系統(RF電源系統)是能夠支持包括薄膜沉積、刻蝕和表面改性在內的多種工藝。尤其值得注意的是,它是能夠絕緣材料靶材濺射的電源,其非常突出。然而,為了充分發揮高頻電源的特性,在設備設計階段,需要深入理解高頻特性并進行針對性的硬件設計。高頻電源系統(RF電源系統)是一種革命性的設備,能夠支持包括薄膜沉積、刻蝕和表面改性在內的多種工藝。尤其值得注意的是,它是能夠絕緣材料靶材濺射的電源,然而,為了充分發揮高頻電源的特性,在設備設計階段,需要深入理解高頻特性并進行針對性的硬件設計。
在高頻電源中,可能會發生一種稱為“反射"的現象,即部分或全部輸出功率未被負載消耗而返回電源端。為了有效地向負載供電,必須使用高頻電源的組件——匹配器(匹配盒,阻抗匹配單元),該單元能夠優化電力供應效率。愛發科(ULVAC)的高頻電源系統憑借在多種應用中積累的豐富經驗和專業知識,高質量的薄膜沉積工藝。我們誠邀您充分利用這一的電源系統。
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