ULVAC愛發科日本精選薄膜沉積控制器CRTM-6000G的使用操作

CRTM-6000G 是一款基于晶體振蕩器的沉積控制器,可提供出色的分辨率,用于監測和控制沉積膜的厚度/速率。盡管其尺寸緊湊,僅占半機架,但它能夠處理低速率控制和多達 99 層的連續多層沉積。
特征
優異的薄膜厚度和沉積速率分辨率即使在低沉積速率下也能控制。
125毫秒的快速采樣率可快速響應的控制。
可多達 99 層的多層薄膜控制。
RS232C是標準配置。
可連接兩個單傳感器(可切換)。
配備可編程數字輸入和輸出(各 12 個通道)和模擬輸出(3 個通道)。
目的
控制氣相沉積過程中的薄膜厚度和沉積速率
規格
薄膜厚度和測量分辨率:0.041A (5MHz) 0.029A (6MHz)
薄膜厚度顯示范圍/顯示分辨率:0.000~99.99μm(0.000~999.9k?)
蒸汽沉積速率顯示范圍/顯示分辨率:0.01~99.99納米/秒(0.1~999.9埃/秒)
支持的傳感器頻率:5MHz,6MHz
可安裝的傳感器數量:單傳感器:2(無法同時測量,可切換)多傳感器:1
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