日本全新ULVAC愛發科熱陰極電離真空計SH200-A的操作說明

這是一個新Model的傳感器類型 "Model:G-TRAN復合電離真空計",可以不同的測量范圍。作為B-A型電離真空計、可以測量高真空。保留了以往的寬幅測壓和低運行成本的理念,但進行了改進,更加人性化。
特點
可連接到不同的測量范圍:復合電離真空計可以根據。小型化:與之前的產品相比,尺寸的大幅縮小(控制器體積縮小56%),成為同級別小的產品之一。
操作性的提高:通過與PC/智能手機的連接,可以進行設定點設置、狀態確認等。
產品陣容:除模擬輸出規格(SH200-A)和串行通信規格(SH200-R)外,還將增加EtherCAT規格(SH200-E)。燈絲壽命通知功能:通過監測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。
壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~5×10-8Pa)(選配SWU10-R的情況下)。
可以測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當連接了可選的單元SAU時)。
用途
用于各種制造設備的高真空區域的工藝監控,包括半導體和電子元件。用于具有多個處理室的各種制造設備的高真空區域的極限壓力測量,例如in-line式和枚葉式,高真空?高真空設備的壓力測量。
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