eFLOW系列是通過DIC開發(fā)的“中空紗氣體透過膜"供氣二氧化碳的方法，控制純水的比電阻值的裝置。可達(dá)到防止靜電引起的“垃圾再附著"和防止基板圖案的“靜電破壞"的效果。由于沒有復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，因此故障較少。通過管道分配方式，使得比電阻值的控制變得容易，且穩(wěn)定性好。碳酸氣體供氣模塊的使用較長。

裝置原理

通過調(diào)整二氧化碳溶解模塊生成的二氧化碳飽和水和純水的混合比率，可以調(diào)節(jié)純水的電阻率。

CO2溶解原理

DIW會在模塊內(nèi)流經(jīng)中空纖維膜的內(nèi)部。在此期間，CO2氣體會從中空纖維膜外側(cè)滲入到DIW內(nèi)部。溶解的二氧化碳?xì)怏w在DIW中發(fā)生離子化，從而使DIW具備導(dǎo)電性，并能減少靜電。由于使用了微細(xì)的中空纖維膜成束的材料，因此可以高效地獲得二氧化碳溶解所需的表面積。

日本進(jìn)口迪愛生DIC純水用防靜電裝置eFLOW 1AP-B02的操作應(yīng)用

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