適用于高真空環境的傳送機器人ULVAC愛發科ELEC-RZ的操作說明
ELEC-RZ 是一款基于 COVOT 系列功能和性能的小型、低成本的高真空兼容搬運機器人。
特點
磁流體密封用于真空密封,可使用高達 10-6Pa 的高真空。
執行器的小型化使其緊湊,容易安裝在設備中。
根據行程、轉彎半徑、手數等,有多種手臂可供選擇。
它使用具有操作性的多功能顯示示教器。

規格
model: ELEC-RZ
工作壓力區域 :氣壓~10-6Pa
晶圓尺寸: 200mm/300mm
持有的晶圓數量 :1 件/2 件
范圍 :1050mm
旋轉角度: ±210°
提升行程 :50mm
旋轉直徑:964mm 通過安裝臂
有效載荷能力(包括手):1kg
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