小型蒸發設備ULVAC愛發科帶有調節器VPC-1100的操作應用

將架臺上的油擴散泵,油回轉泵,皮拉尼真空計,閥門配管,電氣系統,壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的,配有鐘罩升降設備的電阻加熱型高速真空蒸發設備。
適用于大型基板的基礎研究開發等實驗用途。
特點
玻璃鐘罩容易看到內部,有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
通過追加蒸發電源和電極,可同時蒸發或多層蒸發。
更改為EB規格,可成膜高熔點的材料。
蒸發設備帶有腳輪,移動為容易。
帶有調節器,可設置的安全性。
尺寸圖
VPC-1100

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