ULVAC愛發科通過采用DC無刷電機羅茨泵MBS-053的操作使用
機械增壓泵是一種可以顯著提高抽速的泵。
通過與油回轉真空泵或干泵等低真空泵組合,可以在低真空泵抽速降低的壓力范圍內顯著提高抽速。
應用于半導體加工、真空蒸餾、真空包裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風洞實驗、空間開發、真空浸漬、真空干燥等眾多領域。
機械增壓泵在殼體內有兩個繭形轉子,進入軸端部的驅動齒輪并沿相反方向同步旋轉。從進氣口進入的氣體被截留在機殼和轉子之間的空間中,隨著轉子的旋轉,被排出到排氣口側,然后由后級的輔助泵釋放到大氣中。
轉子在保持小間隙(0.1至0.3毫米)的情況下旋轉,彼此或外殼不接觸,并輸送氣體,因此轉子室內不需要潤滑油。因此,能夠油蒸氣污染少的真空排氣。
•低功耗
•使用磁性聯軸器無漏油
•體積小巧,重量輕
•可在大氣壓下啟動
•100V系統與220V系統下須設置驅動回路
特點
小型羅茨式真空泵。
在排氣速度下降的壓力范圍,內置的輔助泵可以使排氣速度有提升。
通過采用DC無刷電機,可以根據負載以轉速運行,因此可以從大氣壓力開始抽真空。
磁耦合結構,油不會泄漏到泵的外部。
泵的內部密封采用非接觸式密封,可顯著減少機械損失。(與舊型號相比,功耗降低約60%)
通過切換驅動器箱內的電源,可以在100V系統和200V系統下運行。

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