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日本艾泰克AITEC晶圓紫外線(xiàn)照射器MUVBA-0.4×0.6×0.2使用說(shuō)明

特色
● 紫外線(xiàn)固化裝置,使用LED作為紫外光源切割膠帶
● 紫外線(xiàn)照射強(qiáng)度可調(diào)節(jié),音量旋鈕(0 ~ 100%)
● 簡(jiǎn)易紫外線(xiàn)安裝結(jié)構(gòu)便于將紫外線(xiàn)照射器更換為其他波長(zhǎng)
● N2凈化機(jī)制降低紫外線(xiàn)固化時(shí)的氧氣抑制
● N2預(yù)清洗機(jī)構(gòu)減少額外紫外線(xiàn)照射時(shí)間
● N2 清洗量可通過(guò)流量計(jì)閥控制
把它拆下來(lái),換上照射器。

用例示例
● 晶圓保護(hù)膜在反磨過(guò)程中硬化
● 紫外固化切割帶切割后固化
● 研發(fā)與實(shí)驗(yàn)應(yīng)用
● 小批量生產(chǎn)應(yīng)用

半導(dǎo)體制造工藝(后端工藝)

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