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ULVAC愛發(fā)科水晶振蕩式成膜控制器CRTM-R1-EL的操作使用

CRTM-R1-EL 是一款水晶式成膜控制器,針對有機 EL 沉積工藝和鈣鈦礦太陽能電池沉積工藝進行了優(yōu)化。
采用了一種新的測量方法來高分辨率并顯著提高速率穩(wěn)定性。
特點
采用新的測量方法,速率穩(wěn)定性顯著提高。
能力(CI值)測量提高了晶體板的異常檢測能力。
可以同時控制 8 個元件。 (添加選項時)
通訊方式兼容以太網(wǎng)和RS-232C。
CRTM-R1-EL上保存的各種日志數(shù)據(jù)可以以 CSV 格式傳輸?shù)?USB。
通過使用 Calc-Z 功能,即使對于 Z 比未知的材料,也可以在自動計算 Z 比的同時沉積材料。
用途
有機EL沉積和鈣鈦礦太陽能電池沉積工藝中的薄膜厚度、速率管理和控制
規(guī)格

*1:設(shè)置 Tooling=100、Density=1 時的值
*2:這是通過 Tooling=100、Density=1 轉(zhuǎn)換頻率分辨率獲得的值。
選項介紹
使用CRTM-R1-EL時,需要另外選購選配的CTM-EL(-D)+電纜組、傳感器、導(dǎo)入法蘭等。

傳統(tǒng)CRTM與新型CRTM-R1-EL沉積率比較
CRTM-R1-EL噪音低,工作穩(wěn)定。
【CRTM-R1-EL 】

【CRTM 】

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