解決放電干擾問題的同步單元EXO-13高頻電源系統ULVAC愛發科的操作使用

該裝置設計為高頻電源的外部振蕩器源。它能夠輸出13.56MHz的單個頻率的額定信號。
此外,本機配備 1~4 個 BNC 輸出端口,可為 4 個電源進行同相高頻振蕩。
*所連接電源的外部輸入端子要端接至50Ω,并且能夠在10mW至100mW的距離內工作。
特點
多達四個 RF 電源可以同步相位。
通過減少相位簇功能,低成本。

愛發科(ULVAC)提供以下高頻電源產品:
內置匹配器的高頻電源:RMG
高通用性高頻電源系統(RF電源系統):N系列
豐富的高頻電源選項:MEX-N系列 / EXN系列 / PHS-N系列 / EXO系列
此外,我們可靠性作為搭載電源的真空設備中關鍵的要素。從開發和設計階段到評估和制造,我們專注于高可靠性。
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