ULVAC愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)DC-30-44H配備出色的 ARC 功能的操作應(yīng)用

時(shí)間：2026/8/11閱讀：46

ULVAC愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)DC-30-44H配備出色的 ARC 功能的操作應(yīng)用

等離子體發(fā)生電源或成膜電源是一種通過在電極之間施加電壓來產(chǎn)生等離子體的裝置。利用這項(xiàng)技術(shù)，可以PVD（如濺射）、CVD、刻蝕和灰化等真空工藝。這些工藝可在基板等被鍍物上形成或去除薄膜，從而創(chuàng)造新的附加價(jià)值。該技術(shù)已廣泛應(yīng)用于我們?nèi)粘Ｉ钪械母鞣N產(chǎn)品。

通過形成各種薄膜可以創(chuàng)造附加價(jià)值，這些薄膜被應(yīng)用于我們?nèi)粘Ｉ钪谐Ｒ姷漠a(chǎn)品。相關(guān)行業(yè)廣泛，涵蓋半導(dǎo)體、電子設(shè)備、顯示器、可再生能源、存儲(chǔ)設(shè)備和汽車等多個(gè)領(lǐng)域。在成膜過程中，選擇合適的薄膜材料和比較重要。此外，考慮到生產(chǎn)效率和質(zhì)量，選擇適當(dāng)?shù)碾娫匆彩且粋€(gè)重要因素。

成膜工藝包括PVD（如濺射）、CVD、刻蝕和灰化等，每種工藝都需要配備合適的電源。根據(jù)所采用的工藝和薄膜類型，所需的電源可能有所不同。因此，充分了解每種電源的特點(diǎn)，并根據(jù)目標(biāo)選擇合適的電源顯得比較重要。

例如，在需要高精度薄膜或應(yīng)對(duì)大規(guī)模生產(chǎn)時(shí)，使用滿足特定要求的電源。此外，組合使用多種電源也是常見做法，這通常結(jié)合了各公司的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)。這里介紹的工藝與電源的對(duì)比表僅作為一般參考資料，并未涵蓋所有工藝和應(yīng)用。根據(jù)具體用途，慎重選擇適合的電源比較重要。

特點(diǎn)

輕巧且節(jié)省空間的設(shè)計(jì)

提供 800V 和 1000V 輸出電壓范圍（僅限 10/20kW 產(chǎn)品）

對(duì)等離子體有深入的了解，進(jìn)行輸出控制

強(qiáng)制風(fēng)冷系統(tǒng)不需要冷卻水

配備的 ARC 功能和高速 ARC 切斷電路

可并聯(lián) 12 臺(tái) （240kW）（僅限 10/20kW 產(chǎn)品）

符合 CE、SEMI F47 和 RoHS（不包括 DCS 和 400V 規(guī)格）

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