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當前位置：神崎國際貿(mào)易（蘇州）有限公司>>日本大塚電子Otsuka>> SF-3大塚電子Otsuka分光干涉式晶圓膜厚儀
產(chǎn)品型號SF-3
品 牌OTSUKA/日本大塚
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地蘇州市
更新時間：2026-03-03 16:37:41瀏覽次數(shù)：48次
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 環(huán)保,化工,能源,綜合 |
|---|
大塚電子Otsuka分光干涉式晶圓膜厚儀
大塚電子Otsuka分光干涉式晶圓膜厚儀
您在測量膜厚時是否曾遇到過這些困擾？
“無法在現(xiàn)場即時完成測量"“測量結(jié)果因人而異"“測量精度不盡如人意"？
智能膜厚測量儀具備以下特點，為您解決所有煩惱：
● 可隨身攜帶至生產(chǎn)現(xiàn)場的手持式設計
● 操作簡便，新人也能輕松上手
● 雖為手持設備卻可實現(xiàn)高精度測量
● 支持對三維樣品進行無損檢測
產(chǎn)品信息
特點
● 可攜帶至現(xiàn)場的手持式
● 可測量0.1μm單位
● 具有形狀的樣品也可非破壞的測量
● 不論基材材質(zhì)、可測量其鍍膜
測量項目
膜厚測量范圍 | 1μm～50μm |
測量重復性 | 0.01μm |
測量時間 | 1秒以下 |
手持式膜厚儀與其他膜厚儀的比較
●與桌上型光學膜厚儀相比，Smart膜厚儀在“現(xiàn)場"以非破壞式直接量測樣品，且可以量測特殊形狀樣品。
●與接觸式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不僅不會破壞您的樣品，也不會因用戶不同而產(chǎn)生誤差且遠高于接觸式膜厚的量測精度。
●與渦電流/電磁式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不需要制作檢量線，且可以量測非金屬基材并且得到
不需要量測經(jīng)驗，可快速得到精準的膜厚結(jié)果。
規(guī)格樣式
量測原理 | 反射分光法（光干涉法）、非破壞性量測 |
膜厚量測范圍 | 1~50μm（顯示上限60μm） |
重復精度 | 2.1σ 0.01μm（SiO2膜1μm） |
量測時間 | 1秒內(nèi) |
量測層數(shù) | 1層 |
數(shù)據(jù)輸出 | 附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案 |
量測Spot | Φ1mm以下 |
重量 | 約1.1kg |
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