別再冒險徒手搬運半導體車間酸液輸送，讓危險與污染清零

時間：2026/3/20閱讀：242

在半導體濕法刻蝕與清洗工藝的核心環節，高純度、強腐蝕性化學藥液的精確、無污染輸送，直接關系到晶圓的潔凈度與最終產品良率。如何從存儲桶中安全、高效、無泄漏地將這些昂貴且危險的液體轉移至工藝槽，是每個產線都必須解決的精細作業難題。

納加霍里科技聯合大阪大友，為您提供從“儲運"到“投加"的完整、專業的化學品處理解決方案。其中，日本工進（KOSHIN）FC-103化學溶劑桶泵正是該流程中實現液體精準、安全輸送的關鍵執行單元。

場景化解決方案：從“搬運"到“投加"的無縫銜接

高效儲運

首先，使用大阪大友專業的酸液/化學品搬運車，將裝有氟酸、硫酸、氨水、顯影液等200L標準桶安全、平穩地運抵設備機臺旁。搬運車專為腐蝕性液體設計，具備防泄漏、防濺灑、耐腐蝕及穩固定位功能，解決了長距離、重載搬運的初級風險。

精密投加

隨后，將 KOSHIN 工進FC-103化學溶劑桶泵的泵管插入桶內。其全密封的聚丙烯（PP）泵體結構，可耐受多種化學溶劑腐蝕。啟動后，藥液被平穩抽出，通過一鍵式手持流量調節閥，操作者可精準控制流速與啟停，將液體安全輸送至清洗機、刻蝕機等設備的供液口或工藝槽中。

這一組合，實現了從倉庫到機臺、從大桶到設備的全程密閉、受控輸送，極大降低了人工接觸、潑灑、揮發和污染的風險，是保障工藝安全與穩定性的理想選擇。

KOSHIN 工進FC-103化學泵：為苛刻化學品輸送而生

核心產品：工進（KOSHIN） FC-103-AAA-1 電動鼓式泵

KOSHIN工進FC-103鼓式泵是化學溶劑專用泵。專為輸送各類酸、堿、溶劑等化學藥液而設計，與輸送普通油品的油桶泵有本質區別。

關鍵材質

泵體及所有接液部件均采用耐化學腐蝕性優異的聚丙烯（PP），確保與多種化學品兼容，杜絕污染與腐蝕。

高效性能

大流量約 80升/分鐘，一個200L的標準桶，約3分鐘內即可完成輸送，顯著提升備料與換液效率。

安全設計

核心優勢：為什么是半導體濕法工藝的優選？

材料安全，保障藥液純度：專用PP材質針對化學品優化，離子析出率低，避免引入金屬污染，更適用于對潔凈度有要求的半導體輔助工序（如設備外圍藥液補充）。
杜絕污染，保護工藝：全密閉輸送模式，隔絕了空氣中顆粒和水分對高純化學品的污染風險，也防止了化學品蒸汽對潔凈室環境的破壞。
操作安全，降低風險：相比人工傾倒或簡陋工具，工進（KOSHIN） FC-103電動鼓式泵實現了遠程控制輸送，大幅減少了操作人員直接接觸危險化學品的機會，符合工廠安全規范。
提升效率，精準可控：快速輸送結合精準的手動流量控制，使藥液添加量更準確，減少了浪費和工藝參數的波動。

?? 至關重要的使用前提與選型指南

為確保安全，使用FC-103必須嚴格遵守以下條件：

步驟	關鍵行動	說明與目的
首先：確認兼容性	務必查詢《FC泵耐化學性表（PDF）》	確認您計劃輸送的具體化學品名稱、濃度、溫度與PP材質的兼容性。并非所有化學品都適用。
第二步：評估環境	判斷液體與環境的易燃易爆性	嚴禁使用FC-103電動型泵輸送任何易燃、易爆液體！如有此類需求，必須選用氣動防爆型號 FC-103A。
第三步：電源準備	配備100V隔離變壓器	FC-103為日本標準100V電源，在中國大陸使用必須通過專業隔離變壓器供電，確保電壓匹配與用電安全。

應用場景（與大阪大友搬運車配合）：

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