半導體制程對氣體純度、壓力穩定與潔凈度要求嚴苛,日本長野計器 NKS GW 系列壓力表專為高純度氣體、腐蝕性氣體工況設計,以全不銹鋼結構、超潔凈處理、高氣密性能,成為半導體、電子、特種化工等領域的標準測量選擇。

接液 / 接氣部:SUS316 / SUS316L(波登管、底座、接頭)
外殼 / 機芯:SUS304 / SUS316 全不銹鋼
工藝:氬弧焊接 + 嚴格耐壓 / 氣密檢測,無泄漏隱患
優勢:耐一般腐蝕氣體、酸堿流體、潮濕惡劣環境,長期穩定
鏡面拋光 / 超低污染:內表面精密處理,減少雜質吸附與氣體滯留
低死區結構(GW28 等):隔膜式設計,死體積僅傳統 1/2,易吹掃、易清潔
高潔凈等級:適配半導體特氣、電子特氣、惰性氣體、腐蝕性氣體(HCl、NH?、SiH?等)
表盤尺寸:φ28(GW28)、φ50(GW11)、φ60(GW16)
安裝方式:徑向(GW11)、軸向(GW16)、面板安裝
壓力量程:
正壓:0~0.2MPa ~ 0~100MPa
負壓 / 復合:-0.1~0.1MPa ~ -0.1~2MPa
精度:標準 ±1.5%FS(部分型號 ±3%)
接口:1/4VCR、1/4NPT、G1/4、R1/4(PT)等半導體標準接口
內置安全泄壓盤:波登管破裂時自動泄壓,保護表窗與人員
耐壓:最高 1.0MPa(依型號)
適用溫度:標準 - 10~60℃(特殊可定制)
半導體制造:晶圓制程、刻蝕、沉積、擴散、特氣供氣系統
電子 / 光伏:高純氣體管道、特種材料工藝
化工 / 石化:腐蝕性氣體、高純流體監測
科研 / 實驗室:精密氣體壓力控制
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