
SAP2-10F-SB-8-1是MRM推出的小口徑微型氣動隔膜閥,專為精密微量流體的自動化通斷控制量身打造,針對性解決精細化工、精密電子制程中小流量藥液切換、微量介質供給的管控難題。整機采用一體式高純氟塑構造,全程介質接觸區域無任何金屬材質,從根本上規避金屬離子污染、介質電化學腐蝕等問題,適配各類超高潔凈精密生產場景。
針對10mm小口徑管路特性,閥體采用精細化窄流道優化設計,流道過渡平滑規整,杜絕介質滯留、死角積液現象,特別適合微量流體精準輸送。搭配定制高彈PTFE隔膜組件,密封貼合度高,啟閉響應靈敏,可實現微流量工況下的穩定零泄漏。配套專用8號氣動驅動模塊,驅動氣壓適配性廣,啟停動作靈敏勻速,無卡頓、無遲滯,可精準匹配精密設備的短時高頻控制邏輯。整機體積小巧、安裝占位極小,透明可視化閥體設計,方便運維人員實時觀察介質流動狀態,適配設備內部緊湊管路集成布局。
適用流體:化學品、純水、氣體
流體溫度:10-100℃
大氣溫度:0-40℃
液體流動部分的材質:本體(PTFE)、薄膜(PTFE)
操作方式:單動
氣壓壓力:0.3-0.6MPa
閥門尺寸:10(3/8′′)、15(1/2′′)、20(3/4′′)、25(1′′)
流通孔:Φ8、Φ10、Φ16、Φ22
產品嚴格遵從SEMI F57半導體潔凈標準,閥體內部鏡面光滑,不吸附藥液、不殘留雜質、無微粒析出,保障流體超高純度。定制改良隔膜具備優異的抗疲勞與耐酸堿性能,可長期耐受高頻次微小行程啟閉動作,運行故障率低、耐用性強,可滿足精密產線長時間不間斷穩定作業,有效降低設備運維成本與停機損耗。
憑借小口徑、高靈敏、超潔凈、控液精準的獨特優勢,該閥門主打各類精細微量流體控制場景,與大口徑通流閥門形成工況互補。廣泛應用于半導體精密清洗、微電子元件制程、光伏精密鍍膜、實驗室微量試劑配比、生物醫療精密給藥、精細化工微量助劑添加等領域。可安全管控弱酸堿、有機溶劑、高純超純水、微量腐蝕藥液等介質,是精密自動化流體系統中微量通斷、時序切換、精準配液的核心自控元件。
安裝作業時,需精細處理10mm管路擴口端面,保證端面平整光滑、無毛刺劃痕,對接過程輕裝輕擰,均勻受力鎖緊,避免接口偏心造成微滲漏。設備運行需嚴格匹配額定壓力、溫度區間,嚴禁超工況使用,防止隔膜形變、閥體老化損傷。設備長期待機時,建議采用高純氮氣吹掃管路,清空殘留微量介質,避免弱腐蝕介質長期靜置侵蝕密封結構。日常養護無需拆解閥體,只需定期檢查氣動供氣壓力穩定性、接口緊固狀態及閥體外觀,即可長期保持設備精準、穩定的自控性能。
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