真空泵的核心原理是通過特定的機械或物理手段，在目標空間內制造壓力差，將氣體分子從低壓區域（待抽真空空間）轉移到高壓區域（通常是大氣），從而降低目標空間的氣體壓力，實現真空狀態。
根據工作原理的不同，真空泵主要可分為氣體捕集型和氣體傳輸型兩大類，其具體實現方式存在顯著差異。
這類泵通過機械運動或流體動能，持續將氣體從入口 “輸送" 到出口，如同 “泵水" 一樣 “泵氣"，適用于從粗真空到超高真空的多種場景。
變容式（機械運動類）
旋片泵：轉子帶動旋片在泵腔內旋轉，不斷形成密封空間并改變容積。
羅茨泵：兩個 “8" 字形轉子反向同步旋轉，將氣體從入口 “咬合" 輸送至出口，無內壓縮。
螺桿泵：一對陰陽螺桿高速旋轉，利用螺桿齒間的容積變化吸入和排出氣體，常用于半導體行業。
原理：通過泵腔內運動部件（如轉子、活塞）的周期性運動，改變泵腔容積。容積增大時吸入氣體，容積縮小時壓縮氣體，最后通過排氣閥將高壓氣體排出。
常見類型：
動量傳輸型（流體類）
渦輪分子泵：高速旋轉的葉輪（轉速可達數萬轉 / 分鐘）撞擊氣體分子，賦予其定向動量，使其向排氣口運動。
噴射泵：通過高壓流體（如水、蒸汽或氮氣）的噴射形成負壓，吸入并帶走氣體。
原理：利用高速運動的流體（氣體或液體）攜帶目標空間的氣體分子，將其 “沖刷" 至出口。高速流體可由機械葉輪或噴射裝置產生。
常見類型：
這類泵不直接 “輸送" 氣體，而是通過物理或化學方式將氣體分子 “固定" 在泵內部（如吸附、冷凝），從而減少目標空間的氣體分子數量。
無論哪種類型的真空泵，其工作過程都離不開以下兩個核心環節：
吸氣過程：泵的入口側與待抽真空空間連通，由于泵腔內壓力低于目標空間，氣體分子自然流入泵腔。
排氣過程：泵通過壓縮、捕集或動量傳輸等方式，使泵腔內氣體壓力高于出口側（通常為大氣壓），最終將氣體排出泵外。
這兩個過程循環往復，持續降低目標空間的氣體壓力，直至達到泵的極限壓力（泵能達到的較低壓力）。
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