核心特點

• 可以空冷免維護：無需冷卻水，僅需電源即可運行，安裝自由度高；非接觸式轉子設計，低維護、無油污染，適配清潔真空環境。

• 輕量高效：小型輕量化，運行噪音低；50/60Hz 電源下性能一致，適配不同地區電網。

• 合規適配性強：具備 SEMI-S2、CE、NRTL 認證，可滿足半導體與實驗室的合規要求。

• 低能耗低成本：怠速模式智能適配負載，降低運行能耗，適合長期連續運行場景。

關鍵技術參數

典型應用

• 分析儀器：電子顯微鏡、質譜儀、X 射線光電子能譜（XPS）等對真空潔凈度要求高的設備。

• 實驗室與研發：半導體前道的輕負載鎖腔、表面分析、材料研發等低氣體負載工藝。

• 工業清潔抽氣：光伏 / 平板顯示行業的小型腔室、真空干燥等無腐蝕性副產物的工況。