日系精密制造,流量精度高、穩定性強、脈動小
大量采用PTFE 特氟龍、哈氏合金、耐蝕不銹鋼,適配 HCl、HI、氟化物等半導體強腐蝕氣體
設備體積小、低噪音、可 24h 連續運行,適合潔凈室、產線在線監測
符合 JIS、ISO、NIOSH、中國計量標準,日系半導體產線常用配套品牌
主力系列:MP?Σ500Ⅱ、MP?300、MP?100、MP?W5P
用途:潔凈室塵埃、氣溶膠、VOC、腐蝕性氣體采樣;真空泵尾氣監測;車間環境檢測
特點:無油干式、低脈動、耐腐蝕、便攜 / 臺式可選
轉子流量計、干式氣體流量計、質量流量控制器、差壓流量計
用于:半導體工藝氣體配比、真空泵抽氣流量監測、SiC / 腐蝕氣體管路流量控制
常與 KOFLOC、HORIBA 配套使用
粉塵采樣器、沖擊式采樣器、氣體吸收瓶、過濾裝置
用于潔凈室等級驗證、半導體車間廢氣處理、鋰電 / 光伏環境監測
半導體 / SiC 第三代半導體
潔凈室環境監測、工藝尾氣采樣、真空泵排氣檢測、腐蝕氣體預處理
醫藥 GMP 車間、無菌環境塵埃微生物檢測
化工、鋰電、光伏廢氣、粉塵在線監測
第三方檢測機構、高校科研、疾控中心
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