SP1（ULVAC 愛發科 G?TRAN 系列 皮拉尼真空計）

一、核心特點

1. 一體緊湊型（傳感器 + 電路）

• 無需獨立顯示單元，直接輸出 0–5V 信號給 PLC / 上位機，省配線、省面板空間、降成本。

• 探頭可更換，兼容老款 WP 系列，維護方便、兼容性強。

2. 鉑金燈絲?耐腐蝕長壽命

• 燈絲材質：Pt 鉑金，耐水汽、耐輕微腐蝕，適合工業 / 半導體工藝環境。

3. 雙設定點 + 報警輸出

• 兩路集電極開路輸出（負邏輯），可設高 / 低真空閾值，直接聯動泵、閥門、報警燈。

4. LED 狀態指示

• 面板 LED：電源、錯誤、設定點 1、設定點 2，現場直觀判斷狀態。

5. UL?MOBI 軟件支持（USB?C）

• 可通過 USB?C 連 PC，用軟件校準、讀數據、設參數。

二、關鍵技術參數

• 型號：SP1（G?TRAN 系列 傳感器單元）

• 測量范圍：0.4 Pa ～ 3000 Pa（3×10?3 ～ 22 Torr）

• 精度（N?）

• 51～760 Pa：±15%

• 10～1000 Pa：±30%

• 0.4～3000 Pa：±50%

• 輸出信號：0–5VDC（非線性，最大 10V），分辨率 10mV

• 設定點：2 路，集電極開路（負邏輯），含錯誤信號

• 供電：DC24V ±10%，穩態 2.0W，啟動 4.8W

• 探頭兼容：WP?01（R1/8）、WP?02（NW16）、WP?03（φ15）、WP?16（NW16）

• 接口：D?sub15（I/O）+ USB?C（通訊 / 校準）

• 材質：接液部 SUS304；燈絲 Pt；外殼壓鑄鋁

• 尺寸 / 重量：約 48×30×74 mm / 約 105 g

• 環境：10–40 ℃，濕度 15–80%（無凝露），IP30

• 認證：CE、UKCA

三、型號與探頭組合（常用）

• SP1 + WP?02：標準 NW16 接口，常用

• SP1 + WP?01：R1/8 螺紋接口

• SP1 + WP?03：φ15 卡套接口

• SP1 + WP?16：NW16（同 WP?02）

四、典型應用

• 半導體 / FPD：EFEM、小型腔體、真空搬運、低真空工藝控制。

• 工業真空：真空爐、熱處理爐、真空包裝機、回流焊爐。

• 電子 / 精密：真空烤箱、檢漏設備、鍍膜機低真空段監測。

• 多腔設備：inline 式、枚葉式設備的多腔體壓力監控。