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一、產品概述

EV-A10 是日本EBARA 荏原 EV-A 系列風冷無油干式真空泵，采用多級羅茨干式結構，無需冷卻水，僅接入電源即可工作。主打大氣段抽氣性能優異，適合頻繁從大氣啟動抽真空工況；無油潔凈真空，廣泛用于泛半導體、鋰電、科研實驗室、真空鍍膜等輕負載潔凈真空場景。

二、核心特點

1. 空冷結構，部署極簡不需要冷卻水、冷水機組，現場只需要供電；機身緊湊，標配萬向腳輪，方便移動、機柜內置。

2. 無油潔凈真空泵腔內部無潤滑油，杜絕油蒸汽回流污染腔體，滿足半導體、分析儀器潔凈要求。

3. 大氣抽氣性能突出在大氣壓附近抽速表現優秀，適配 Load-lock 頻繁破空、反復抽氣工藝。

4. 50/60Hz 性能一致不同電網頻率下抽速、真空指標相同，全球工況通用。

5. 低噪音、低震動噪音≤58 dB (A)，適合實驗室、潔凈廠房、檢測設備配套。

6. 水汽耐受能力強標配氣鎮閥，水蒸氣處理能力500 g/h，可應對真空干燥、凍干等含水汽工藝。

7. 通訊與保護自帶控制面板、RS232 通訊接口，支持上位機聯動；具備過載、超溫、風扇故障連鎖保護。

8. 合規認證支持 CE、SEMI-S2、NRTL 認證，滿足半導體工廠規范。

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