KOFLOC/科賦樂  質(zhì)量流量控制器（MFC）KOFLOC/科賦樂  質(zhì)量流量控制器（MFC）
KOFLOC（科賦樂）是日本小島旗下品牌，其質(zhì)量流量控制器（MFC）以熱式傳感、高速響應(yīng)、高精度與高穩(wěn)定性著稱，廣泛用于半導(dǎo)體、光伏、化工、醫(yī)療與分析儀器等氣體精密控制場(chǎng)景。

一、核心工作原理

二、主流系列與特點(diǎn)

1. EX 系列（全金屬數(shù)字型，高精度 / 耐腐蝕）

• 型號(hào)：EX-550、EX-250S、EX-201SC 等

  

• 特點(diǎn)：全金屬密封，兼容腐蝕性氣體；RS485 標(biāo)準(zhǔn)通訊；高速響應(yīng)（＜1s）、零點(diǎn)穩(wěn)定；精度 ±1% SP；支持 0-5V/4-20mA 信號(hào)，±15V/24V 電源可選。

• 流量：10sccm～10SLM（N? 換算）。

2. 3660/3665 系列（標(biāo)準(zhǔn)通用型，高性價(jià)比）

• 型號(hào)：3660（中小流量）、3665（大流量）

  

• 特點(diǎn)：經(jīng)典成熟、穩(wěn)定可靠；常閉閥安全設(shè)計(jì)；可選低壓差（LP）適配燃燒氣體；CE 認(rèn)證。

• 流量：3660 為 10sccm～20SLM；3665 為 30～100SLM（N?）。

• 精度：±1.0～1.5% FS；響應(yīng)＜2s。

3. 3200 系列（高精度小型化）

• 型號(hào)：3200

  

• 特點(diǎn)：替代 3910 系列，體積小、死區(qū)體積低；最小 1sccm 滿量程（SR 選項(xiàng)）；溫控電流差傳感，高速高精度。

• 應(yīng)用：半導(dǎo)體、LCD、生物醫(yī)療等精密場(chǎng)合。

4. 8700 系列（帶顯示數(shù)字型）

• 型號(hào)：8700MC/MM、8750MC/MM

• 特點(diǎn)：自帶顯示屏，可實(shí)時(shí)讀瞬時(shí) / 累積流量、設(shè)報(bào)警；RS485、0-5V/4-20mA；寬量程 10sccm～100SLM。

5. ST-500 系列（PI 控制型，高穩(wěn)定性）

• 型號(hào)：ST-500

• 特點(diǎn)：PI 控制算法，穩(wěn)定性優(yōu)；精度 ±1% SP（10～100% FS）、±0.1% FS（2～10% FS）；重現(xiàn)性 ±0.2% FS。

三、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)（通用）

• 適用氣體：N?、Air、H?、He、Ar、O?、CO? 及多種腐蝕性氣體。

• 控制范圍：2～100% FS（部分型號(hào) 5～100% FS）。

• 響應(yīng)時(shí)間：≤1～2s（±2% FS 內(nèi)）。

• 精度：±1.0～1.5% FS（25℃）；溫度系數(shù) ±0.1～0.2% FS/℃。

• 材質(zhì)：接氣部 SUS316L、PTFE、Au 等，適配高純 / 腐蝕氣體。

• 電氣：信號(hào) 0-5V/4-20mA；電源 ±15V 或 24VDC；通訊 RS485（可選 DeviceNet/EtherCAT）。

四、典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體：刻蝕、沉積、擴(kuò)散工藝的氣體配比與流量控制。

• 光伏 / 鋰電：氬氣、氮?dú)狻⒀鯕獾缺Ｗo(hù)氣與工藝氣控制。

• 分析儀器：色譜、質(zhì)譜、氣體分析儀的載氣 / 樣氣精密控制。

• 醫(yī)療 / 環(huán)保：氣體混合、煙氣分析等。

五、選型要點(diǎn)

1. 確認(rèn)氣體類型、流量量程（N? 換算）、精度等級(jí)。

2. 匹配工作壓差、入口壓力、溫度 / 濕度環(huán)境。

3. 選擇信號(hào) / 電源規(guī)格、通訊接口、顯示功能。

4. 腐蝕性 / 高純工況優(yōu)先選全金屬密封（EX 系列）。