目錄:玉崎半導體（深圳）有限公司>>KOFLOC/科賦樂 優勢品牌>> EX-550KOFLOC/科賦樂 質量流量控制器（MFC）
| 價格區間 | 10萬-30萬 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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KOFLOC/科賦樂 質量流量控制器（MFC）KOFLOC/科賦樂 質量流量控制器（MFC）
KOFLOC（科賦樂）是日本小島旗下品牌，其質量流量控制器（MFC）以熱式傳感、高速響應、高精度與高穩定性著稱，廣泛用于半導體、光伏、化工、醫療與分析儀器等氣體精密控制場景。
型號：EX-550、EX-250S、EX-201SC 等
特點：全金屬密封，兼容腐蝕性氣體；RS485 標準通訊；高速響應（＜1s）、零點穩定；精度 ±1% SP；支持 0-5V/4-20mA 信號，±15V/24V 電源可選。
流量：10sccm～10SLM（N? 換算）。
型號：3660（中小流量）、3665（大流量）
特點：經典成熟、穩定可靠；常閉閥安全設計；可選低壓差（LP）適配燃燒氣體；CE 認證。
流量：3660 為 10sccm～20SLM；3665 為 30～100SLM（N?）。
精度：±1.0～1.5% FS；響應＜2s。
型號：3200
特點：替代 3910 系列，體積小、死區體積低；最小 1sccm 滿量程（SR 選項）；溫控電流差傳感，高速高精度。
應用：半導體、LCD、生物醫療等精密場合。
型號：8700MC/MM、8750MC/MM
特點：自帶顯示屏，可實時讀瞬時 / 累積流量、設報警；RS485、0-5V/4-20mA；寬量程 10sccm～100SLM。
型號：ST-500
特點：PI 控制算法，穩定性優；精度 ±1% SP（10～100% FS）、±0.1% FS（2～10% FS）；重現性 ±0.2% FS。
適用氣體：N?、Air、H?、He、Ar、O?、CO? 及多種腐蝕性氣體。
控制范圍：2～100% FS（部分型號 5～100% FS）。
響應時間：≤1～2s（±2% FS 內）。
精度：±1.0～1.5% FS（25℃）；溫度系數 ±0.1～0.2% FS/℃。
材質：接氣部 SUS316L、PTFE、Au 等，適配高純 / 腐蝕氣體。
電氣：信號 0-5V/4-20mA；電源 ±15V 或 24VDC；通訊 RS485（可選 DeviceNet/EtherCAT）。
半導體：刻蝕、沉積、擴散工藝的氣體配比與流量控制。
光伏 / 鋰電：氬氣、氮氣、氧氣等保護氣與工藝氣控制。
分析儀器：色譜、質譜、氣體分析儀的載氣 / 樣氣精密控制。
醫療 / 環保：氣體混合、煙氣分析等。
確認氣體類型、流量量程（N? 換算）、精度等級。
匹配工作壓差、入口壓力、溫度 / 濕度環境。
選擇信號 / 電源規格、通訊接口、顯示功能。
腐蝕性 / 高純工況優先選全金屬密封（EX 系列）。
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