一、產品簡介

衍生型號：A-52-STD（加強密封款）、A-52-ST-EL（化學鍍專用款）。

二、核心工作原理

1. 晶圓卡入專用陰極盒，僅邊緣劃片區夾持、整片正反面裸露浸液，晶圓做陰極導電；上下對稱布置雙陽極（磷銅 / 鎳 / 鉑鈦網）形成上下均勻電場，實現雙面同時上電沉積鍍層。

2. 中心槳式攪拌 + 晶圓低速回轉雙重對流：內置伺服槳葉環繞晶圓往復攪動 + 晶圓 0~80rpm 水平旋轉，槽底持續穩壓進液、外圈溢流回流，快速剝離晶圓微孔氣泡、強化孔內鍍液交換，解決高深寬比 TSV 空洞、膜厚邊厚中間薄問題。

3. 槽體外置旁路連續過濾 + 恒溫控溫，鍍液實時循環凈化，搭配 YPP 系列精密直流 / 脈沖電鍍電源，精準管控鍍層結晶精度。

三、分規格槽體參數（A-52-ST 標準系列

四、整套標準配置（A-52-ST 成套標配清單）

1. 槽體主體（A-52-ST□-P01A）：雙底溢流型亞克力電鍍杯槽，雙層溢流結構，底進液、上溢流循環設計；

2. 陰極盒（P02A）：3 種夾具可選：標準敞開型 / 全密封型 / 負壓吸氣密封型（鍍金 / 錫防氧化選密封款，隔絕空氣），PEEK 絕緣夾邊，低壓降碳刷導電結構；

3. 上下陽極支架（P09A）：上下分體陽極掛架，適配鈦籃、網狀貴金屬陽極，陽極背面導流優化電場均勻性；

4. 槳式攪拌單元（P04D）：可調速伺服攪拌槳，變頻 0~300 次 /min 往復攪拌晶圓雙面藥液；

5. 溫控組件：WJ 型浸入式 PFA / 石英加熱器（AC100V 日系標準電壓，可選 220V 改制），控溫 20~65℃，溫控精度 ±0.8℃；

6. 精密過濾系統：20APFA (2~6 寸)/40APF (8~12 寸) 小型 PP 濾芯過濾器 + 微型氣泵，5μm 連續旁路過濾，去除陽極渣雜質；

7. 選配：YPP 精密電鍍電源（YPP15031WA 脈沖 / 直流兩用），支持反向脈沖電鍍，適配高深寬比填孔工藝。

五、產品核心優勢

1. 雙面一次電鍍：無需翻面，正反面同步成膜，對比單面杯槽效率翻倍，減少晶圓磕碰報廢；

2. 膜厚一致性優異：旋轉 + 槳攪 + 上下對稱電場，整片晶圓膜厚公差≤±2.5%，邊緣增厚＜4%，滿足 UBM/TSV 精密制程；

3. 兼容性強：單套夾具可同尺寸晶圓通用，更換夾頭即可切換 2~12 寸；兼容酸性銅、鎳、金、鈀、錫、鎳鈷全品類半導體鍍液；

4. 配套 A01~A28 鍍液滴定套裝：槽體預留取樣口，日常取樣用滴定試劑快速檢測銅 / 鎳 / 金、酸度、添加劑含量，精準補加藥水；

5. 小型省液：杯式密閉結構，槽液容量小、貴金屬藥水損耗極低，適合研發打樣、新品藥水配方驗證。

六、適用鍍種 & 應用場景

電鍍金屬

終端使用

七、可選升級配件

1. N?氮氣密閉保護套件（鍍金 / 易氧化錫鍍必選）；

2. 在線 pH / 溫度監測模塊；

3. 220V 電壓改制、PVDF 耐強腐蝕槽體定制；

4. 自動微量補液裝置。