目錄:玉崎半導體(深圳)有限公司>>YAMAMOTO-MS山本鍍金>> A-53-M2-P01WYAMAMOTO-MS山本鍍金 (微型微細胞電鍍槽)
| 價格區間 | 10萬-30萬 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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YAMAMOTO-MS山本鍍金 (微型微細胞電鍍槽)YAMAMOTO-MS山本鍍金 (微型微細胞電鍍槽)
后綴區分:W = 敞口自然溢流;F = 底部接外置過濾循環;M1=300mL、M2=500mL、M3=1000mL。
| 型號 | 槽體內部尺寸 | 容積 | 適配樣品 |
|---|---|---|---|
| A-53-M1(I 型) | 65×65×95mm | 300mL | 10~50mm 方片、1/2/4 寸晶圓切片 |
| A-53-M2(II 型) | 80×80×105mm | 500mL | 4/6 寸半切晶圓、小整片晶圓 |
| A-53-M3(III 型) | 100×100×140mm | 1000mL | 6 寸整片小批量試樣 |
側邊夾持陰極夾具:PEEK 絕緣夾邊,只夾緊樣品邊緣,試樣正反面全裸露浸液、雙面同步電鍍;標配多款夾頭:15×10mm、30×30mm、50×50mm 方片、晶圓弧形夾頭。
單槳往復攪拌:微型伺服攪拌槳在晶圓雙面往復擾動,替代晶圓旋轉,低成本實現藥液對流、排出盲孔氣泡(A-52-ST 是晶圓旋轉,A-53-M 固定試樣 + 槳攪)。
上下分體陽極支架:可裝鈦籃 / 鉑網 / 磷銅陽極,上下雙陽極對稱布置,雙面均勻電場。
A-53-M1-P05WA:DC48V 50W 浸入式加熱棒,內置過熱熔斷保險(干燒自動斷電);
B-93-YTC300 精密 PID 溫控器:控溫 20~65℃,精度 ±0.5℃,適配全系列 M1/M2/M3 槽體。
超省鍍液:僅 300mL 起槽,金、鈀等高價藥水研發成本大幅降低,搭配 A01~A28 滴定試劑日常取樣化驗離子濃度、酸度、添加劑含量;
可視化實驗:全透明槽體,實時觀察鍍層生長、氣泡析出、針孔麻點,快速判定鍍液優劣;
小巧桌面放置:整機臺式,無需配套大型循環槽,實驗室通風櫥即可安裝;
雙面同步電鍍:同 A-52-ST 工藝邏輯,正反面一次成膜,無需翻面,膜厚均勻≤±3%;
通用性強:更換夾具兼容硅片、SiC/GaN 化合物晶圓、PCB 小片、金屬試樣,銅 / 鎳 / 金 / 錫 / 鎳鈷全鍍種通用。
電鍍藥水廠家:新品配方研發、添加劑優劣測試、A01 滴定配套驗證;
半導體封測實驗室:晶圓切片工藝打樣、參數摸底;
高校微電子、功率器件(SiC/GaN)研發實驗室;
電鍍廠新品前道小試(替代昂貴 8 寸 A-52-ST 先行小樣篩選)。
研發打樣、貴金屬藥水→M1 (300mL W 型)
4/6 寸晶圓半片實驗→M2 (500mL F 過濾款)
小批量試樣對比→M3 (1000mL F 型)