一、產品定位

• B-J：單氣缸 2 位（全關 / 全開），僅做通斷隔離

• BH-J：雙氣缸兩段式，支持慢抽 + 快抽雙開度

• BAR-J/BJ4：電機伺服調節型，用于真空壓力精密調控

二、核心產品優勢

• 超薄面間大通導

  閥體厚度極薄，同等口徑下流導遠優于閘閥 / 角閥，抽氣速率高，縮短腔體預抽時間；無安裝流向限制，水平、垂直任意角度均可裝配。

• 超高潔凈低產塵

  閥體、蝶板全 SUS304 不銹鋼，內腔鏡面電解拋光；無塵室裝配檢測，無金屬滑動摩擦結構，晶圓、光學膜等高潔凈場景無顆粒污染風險。

• 氦檢級超低泄漏

• 閥內密封泄漏：≤1×10?? Pa?m3/s

• 閥桿軸封外泄漏：≤1×10?1? Pa?m3/s

  滿足半導體高真空氦檢漏標準，長期保壓無漏氣。

• 緩沖氣缸長壽命

  齒輪齒條驅動，氣缸內置氣墊緩沖，啟閉無沖擊、低噪音；標準壽命≥100 萬次啟閉，適配產線高頻循環工況。

• 完整信號反饋

  標配內置微動開關（NPN/PNP 可選），實時輸出閥門全開 / 全關到位信號，直接對接 PLC 自動化聯控。

• 多密封耐腐蝕可選

  標準 FKM 氟橡膠 O 圈；強腐蝕 / 高溫工況可升級 Kalrez 全氟醚密封，耐鹵素、酸堿工藝氣體。

三、通用標準技術參數

四、型號命名規則（舉例解析）

• B：單氣缸兩位氣動蝶閥（通斷型）

• J：JIS 標準法蘭接口

• 80：公稱通徑 DN80A

• B-N63：KF (NW) 快裝法蘭款

• B-C100：CF 超高真空法蘭款

• B-J200-KLZ：升級 Kalrez 全氟醚密封

• B-J160-SV：配套集成 DC24V 電磁閥一體款

五、結構組成

• 閥體主體：超薄不銹鋼蝶閥本體，中線蝶板密封結構，全關零滲漏；

• 氣動驅動氣缸：齒輪齒條傳動，內置緩沖減震；

• 閥位檢測模組：透明可視開關倉，直觀觀察觸點狀態；

• 閥桿密封組件：雙層 FKM 軸封，杜絕外部大氣滲入真空腔體；

• 法蘭密封 O 圈：蝶板邊緣一體式彈性密封。

六、適用行業與典型工況

• 半導體制造

  PVD 濺射、CVD 沉積、刻蝕設備分子泵前端隔離閥、腔體預抽管路切斷、工藝氣體真空隔斷；

• 光學 / 真空鍍膜

  光學玻璃、偏光片、AR 膜鍍膜爐主抽閥、靶室隔離閥；

• 鋰電新能源

  極片真空烘烤、隔膜涂布真空設備、注液真空腔體通斷；

• 科研 / 光伏

  真空退火爐、光伏鍍膜設備、實驗室高真空管路切換；

• 精密電子

  晶圓貼膜、撕膜機真空吸附管路隔斷。