一、型號命名釋義（例：B-C100）

1. B：標準單氣缸兩位氣動蝶閥，僅0° 全關 / 90° 全開，管路純通斷隔離

2. C：代表CF 超高真空刀口法蘭（無氧金屬密封法蘭，可高溫烘烤除氣，超高真空專用）

3. 數字：公稱通徑 DN25/40/50/63/80/100/150（B-C 最大口徑 DN150，CF 法蘭標準上限）

• B-C：兩位氣動開關閥（基礎通斷，本次主推）

• BH-C：雙氣缸兩段式，支持 0~45° 慢抽 + 90° 全開，防沖氣

• BAR-C：伺服電動連續調節蝶閥，0~90° 無級開度，搭配 MGCS 真空壓力控制器閉環穩壓

• BAZ-C：多檔位定點電動閥，100 檔機械鎖止開度

• BL-C：可編程伺服閥，最多 14 檔自定義閥位定位

二、產品核心定位

三、核心產品優勢

1. CF 刀口金屬法蘭，超高真空適配

   兩端 CF 刀口法蘭，配套無氧銅墊圈金屬密封，無橡膠法蘭墊片放氣；閥體整體可 150℃高溫烘烤除氣，腔體極限真空可達 10?? Pa 級別，無油超高真空系統。

2. 超薄大通導結構

   閥體面間厚度極薄，同等口徑流導遠優于閘閥，大幅縮短腔體抽真空時間；無介質流向限制，水平、垂直、倒置任意角度安裝。

3. 氦檢級超低泄漏指標

• 蝶板內部密封泄漏：≤1×10?? Pa?m3/s

• 閥桿軸封外泄漏：≤1×10?1? Pa?m3/s

  滿足半導體、科研設備嚴苛氦檢漏標準，長期保壓無滲漏。

4. 無塵低放氣鏡面腔體

   閥體、蝶板全 SUS304 不銹鋼鏡面電解拋光，原廠萬級無塵車間組裝；無內部滑動摩擦部件，低析出、低放氣，適配晶圓、光學元器件等高潔凈超高真空制程。

5. 緩沖長壽命氣動氣缸

   齒輪齒條驅動，氣缸內置氣墊緩沖，啟閉無沖擊、低噪音；標準啟閉壽命≥100 萬次，適配自動化高頻循環工況。

6. PLC 聯動閥位反饋

   標配內置微動開關（NPN/PNP 可選），實時輸出閥門全開 / 全關到位信號，直接對接設備 PLC 安全聯鎖。

7. 耐腐蝕密封可選

   標準 FKM 氟橡膠軸封；鹵素、酸堿等離子腐蝕工藝可升級Kalrez 全氟醚密封，耐高溫耐化學介質侵蝕。