一、型號(hào)命名釋義（例：BH-C63）

1. BH：雙氣缸兩段式驅(qū)動(dòng)，三閥位結(jié)構(gòu)，集成慢抽 / 慢破真空工藝功能，無(wú)需外置旁路針閥

2. C：代表CF 刀口金屬密封法蘭，無(wú)氧銅墊圈金屬密封，支持高溫烘烤、超高真空無(wú)油系統(tǒng)專用

3. 數(shù)字：公稱通徑 DN25/40/50/63/80/100/150（CF 法蘭標(biāo)準(zhǔn)最大 DN150，無(wú)更大口徑）

• BH-C：兩段緩抽氣動(dòng)閥（本文主力）

• B-C：?jiǎn)螝飧變晌煌〝嚅y，僅全開 / 全關(guān)，無(wú)緩抽功能

• BAR-C/BAZ-C：伺服電動(dòng)無(wú)級(jí) / 多檔位調(diào)節(jié)蝶閥，搭配 MGCS/MS-VP 控制器閉環(huán)穩(wěn)壓

• BT-C：手動(dòng) CF 蝶閥，無(wú)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)

二、產(chǎn)品核心定位

三、核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. 雙氣缸三段閥位，一體化緩抽設(shè)計(jì)（核心差異化）

   雙級(jí)氣缸穩(wěn)定 3 檔固定開度，0~45° 慢開角度出廠可定制微調(diào)：

• 0° 全關(guān)：密封隔離真空管路，隔絕大氣滲入超高腔體；

• 0~45° 小開度慢檔位：平緩抽真空、緩慢梯度泄壓，氣流柔和無(wú)沖擊，保護(hù)精密樣品；

• 90° 全開：超薄閥體大通導(dǎo)，快速抽氣縮短腔體循環(huán)周期。

2. CF 刀口金屬法蘭，適配 10??Pa 超高真空

   兩端標(biāo)準(zhǔn) CF 刀口法蘭，搭配無(wú)氧銅墊圈金屬密封，無(wú)橡膠墊片低放氣；閥體整體最高 150℃高溫烘烤除氣，適配分子泵 / 離子泵無(wú)油超高真空系統(tǒng)，極限真空可達(dá) 1×10?? Pa。
3. 超薄閥體，超高流導(dǎo)抽速

   閥體面間厚度極薄，同口徑流導(dǎo)遠(yuǎn)超閘閥，大幅降低真空泵負(fù)載；無(wú)介質(zhì)流向限制，水平、垂直、倒置任意角度均可安裝。
4. 氦檢級(jí)超低泄漏指標(biāo)

• 蝶板內(nèi)部密封泄漏：≤1×10?? Pa?m3/s

• 閥桿軸封外泄漏：≤1×10?1? Pa?m3/s

  滿足半導(dǎo)體、科研精密氦檢漏標(biāo)準(zhǔn)，長(zhǎng)時(shí)間保壓無(wú)滲漏。

5. 低放氣高潔凈無(wú)塵構(gòu)造

   閥體、蝶板全 SUS304 不銹鋼鏡面電解拋光，原廠萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間裝配；內(nèi)部無(wú)摩擦滑動(dòng)機(jī)械結(jié)構(gòu)，低顆粒析出、極低放氣量，適配晶圓、光學(xué)元器件、電鏡樣品等高潔凈超高真空工況。
6. 緩沖長(zhǎng)壽命氣動(dòng)氣缸

   齒輪齒條驅(qū)動(dòng)，氣缸兩端內(nèi)置氣墊緩沖，啟閉無(wú)沖擊、低噪音；標(biāo)準(zhǔn)啟閉壽命≥100 萬(wàn)次，適配實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體設(shè)備高頻循環(huán)工況。
7. 三檔位獨(dú)立 PLC 閥位反饋

   內(nèi)置多路微動(dòng)開關(guān)（NPN/PNP 可選），分別輸出全關(guān)、45° 慢開、90° 全開三路到位信號(hào)，直接接入設(shè)備 PLC 實(shí)現(xiàn)高真空工藝安全聯(lián)鎖控制。
8. 耐腐蝕密封可選方案

   標(biāo)準(zhǔn) FKM 氟橡膠閥桿軸封；鹵素等離子、酸堿腐蝕工藝可升級(jí)Kalrez 全氟醚密封，耐化學(xué)介質(zhì)、耐高溫。

四、通用標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)參數(shù)