一、基礎信息

1. SR 基礎單段型：標準皮帶傳動，堅固耐用，通用前級主力泵

2. SR-B / SR-BⅡ 大排量升級款：緊湊型大抽速，平衡結構，振動更低

3. SRP-B 超大型活塞泵：超大抽氣量，面向大型真空機組

工作原理

二、核心產品特點

1. 結構堅固，超長壽命

   活塞耐磨設計，無易損旋片，連續 24 小時不間斷運行，維護周期遠長于旋片真空泵，適合熱處理重載工況。

2. 真空性能穩定

   閉氣鎮：極限真空可達6.7×10?1 Pa；開啟氣鎮閥可處理水蒸氣，極限真空 1.3×102 Pa，匹配擴散泵前級要求。

3. 標配氣鎮閥，耐水汽能力強

   可以抽除冷凝性水蒸氣，少量水汽不會造成真空油乳化，兼顧干式預抽與潮濕工況。

4. 排氣量大、抽氣效率高

   同等電機功率下，活塞泵有效抽氣量大于旋片泵，腔體預抽速度更快。

5. 全風冷設計

   無需外接冷卻水，現場安裝簡單，適配車間無供水場景。

6. 法蘭統一 JIS 日系標準

   進氣口可直接對接 SV-L/SNV-L 直角真空閥，與 SD 擴散泵管路無縫成套匹配。

7. 低故障率，維保簡單

   僅需定期更換真空油，活塞組件數年無需拆解更換。

三、完整型號與技術參數（50Hz，空冷）

四、可選配件

1. 油霧捕捉器 HT 系列：過濾排氣油霧，保持車間潔凈（HT500~HT15000 對應全型號）

2. 進氣單向閥：停機防止大氣返流污染真空腔體與擴散泵油

3. 真空壓力繼電器：與氣動閥門聯動，實現機組自動啟停

4. 專用真空油：RPO/RP32 活塞泵專用油

5. 防震底座，降低整機運行振動

五、經典成套真空機組方案

方案 1（標準高真空機組?真空爐 / 鍍膜機主力）

方案 2（大腔體大抽速機組）

方案 3（含水汽工況）

六、行業應用場景

1. 真空熱處理行業（核心應用）

   真空退火爐、釬焊爐、燒結爐，工件大量放氣，活塞泵重載不熄火，連續長期穩定運行。

2. 光學蒸鍍、半導體鍍膜設備

   SD 擴散泵機組標配前級泵，保證前級真空穩定，杜絕擴散泵背壓過高停機。

3. SiC 晶圓蒸發、電子束科研腔體

   日系整套真空設備原廠配套泵，真空波動小，保障工藝穩定性。

4. 冷凍干燥、大型真空脫泡設備

   兼顧大抽速與中等真空，應對間歇式進氣抽氣工況。

5. 真空浸漬、電氣元器件真空干燥生產線