一、型號命名規則

1. PF：內部灌流結構（液體走中空纖維管內，真空 / 氣體在外殼側）

2. D：Standard 通用標準型（區分耐化學 PF-F、大流量 PF-L 系列）

3. 數字（001/004）：流量規格代號，對應體積、耐壓、處理流量

   主流型號：PF-001D、PF-004D

二、核心結構與材質

1. 中空纖維膜芯

   專用親水性聚烯烴膜，透氣不透水，可實現 ppb 級深度脫氧，水中溶氧低脫至 1ppb 級別；膜絲耐壓、不易堵膜、支持反向清洗再生。

2. 外殼

   標準款耐腐蝕工程塑料；高潔凈工況可選不銹鋼殼體。

3. 密封組件

   耐化學特種橡膠，適配純水、弱酸堿、低濃度化學品。

4. 雙接口設計

   液體進出接口 + 真空 / 供氣接口，一套模組兩種工況切換。

三、兩大核心功能

1. 液體深度脫氣（真空模式）

1. 去除水中溶解 O?、CO?、N?，消除氣泡

2. 應用：超純水、電鍍液、清洗藥液、光刻配套純水

2. 液體溶氣 / 供氣（加壓通氣模式）

1. 半導體濕法氫水、臭氧水、氮氣飽和純水制備

2. 無需額外溶氣罐，設備集成度大幅提升

四、核心產品優勢

1. 超高脫氣精度：ppb 級除氧，滿足 12 寸 / 8 寸晶圓超純水 Fab 標準；

2. 可反向清洗：定期水洗即可去除膜面雜質，長期穩定運行、耗材壽命長；

3. 耐溫耐介質：適配常溫純水、弱酸堿清洗液，無離子析出污染；

4. 結構緊湊：小型圓柱式，便于機柜集成、產線改造；

5. 兩用一體：脫氣 / 溶氣切換，減少管路、降低設備成本；

6. 低壓力損失：纖維流道平順，不增加水泵負荷。

五、主流型號基礎參數

PF-001D

1. 處理流量：0.6～60 L/h

2. 最大耐壓：0.3 MPa

3. 外形尺寸：φ60×140 mm

4. 接口：Rc1/4 螺紋、φ6 軟管快插

PF-004D

1. 處理流量：3～180 L/h

2. 最大耐壓：0.3 MPa

3. 尺寸更大，適配中流量超純水支路

六、典型應用場景

1. 半導體晶圓制造

   超純水循環脫氣、濕法清洗槽藥液除泡、氫溶水制備；

2. 面板 LCD/OLED

   顯影液、蝕刻藥液脫氣，杜絕氣泡造成面板針孔不良；

3. 精密電子清洗

   光學元件、PCB 高純清洗液脫氣；

4. 實驗室 / 分析設備

   液相色譜流動相脫氣、離子色譜純水系統；

5. 特種水處理

   純水除二氧化碳、氮氣飽和純水制備。