一、型號(hào)命名規(guī)則

• PF：內(nèi)部灌流結(jié)構(gòu)（液體走中空纖維管內(nèi)，真空 / 工藝氣體通外殼側(cè)）

• F = Fluorine 氟系，全 PTFE 接液專(zhuān)用耐化學(xué)款（對(duì)標(biāo)純水通用 PF-D）

• 數(shù)字（03/05/10/13/28）：流量規(guī)格；后綴 (T)= 低阻低壓損改良型

二、核心材質(zhì)（與 PF-D 最大區(qū)別）

1. 中空纖維膜芯：PTFE 聚四氟乙烯超薄透氣膜，透氣不透藥液、耐強(qiáng)腐蝕

2. 全部接液部件：氟樹(shù)脂一體成型，無(wú)普通塑料、無(wú)橡膠析出

3. 外殼標(biāo)配不銹鋼；密封、接頭全氟材質(zhì)

4. 規(guī)避離子溶出、被藥液溶脹腐蝕問(wèn)題

三、脫氣原理

四、核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. 耐化學(xué)腐蝕

   耐受 HF 、濃鹽酸、強(qiáng)堿、蝕刻液、剝離液、IPA、丙酮、各類(lèi)光刻膠 / 稀釋劑、有機(jī)溶劑，半導(dǎo)體強(qiáng)腐蝕藥液適配 PF 系列。

2. 零金屬離子污染

   接液無(wú)金屬、無(wú)普通橡膠，滿足 8/12 寸晶圓高潔凈制程要求。

3. 可反向沖洗再生

   內(nèi)部灌流結(jié)構(gòu)，雜質(zhì)不易堵膜；定期反向沖洗恢復(fù)脫氣效率，耗材壽命更長(zhǎng)。

4. 高脫氣效率

   PTFE 超薄皮層，小體積搭載超大膜面積，小流量藥液也能穩(wěn)定脫氣。

5. 一體兩用

   真空脫泡除氧 / 加壓溶氮?dú)舛弦?，減少管路、節(jié)省機(jī)柜空間。

6. 低析出、不溶脹

   有機(jī)溶劑長(zhǎng)期浸泡不變形、不滲漏、無(wú)有機(jī)物溶出污染藥液。

五、主流型號(hào)標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)（通用標(biāo)準(zhǔn)型）

低壓力損失 T 系列（大流量高粘度藥液優(yōu)選）

六、適配介質(zhì)（PF-F ，PF-D 不可用）

• 強(qiáng)酸：HF、HCl、H?SO?、磷酸、各類(lèi)蝕刻酸液

• 強(qiáng)堿：氨水、KOH、NaOH、顯影液、剝離液

• 有機(jī)溶劑：IPA、丙酮、PGMEA、光刻膠稀釋劑、醇類(lèi)、酯類(lèi)

• 功能性藥液：CMP 研磨液、光阻、清洗溶劑、溶劑型噴墨墨水

七、典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體晶圓制程

   光刻膠供液脫泡、蝕刻 / 剝離 / 顯影藥液除氧、濕法腐蝕槽脫氣、CMP 研磨液脫泡，消除氣泡導(dǎo)致的晶圓針孔、斷線不良。

2. LCD/OLED 面板制造

   彩色光阻、顯影液、蝕刻液、剝離液在線脫氣，提升涂布均勻性。

3. 精密?chē)娔蛴?/span>

   溶劑型工業(yè)墨水脫氣，杜絕噴頭堵孔、斷墨。

4. 化工 / 實(shí)驗(yàn)室精密分析

   強(qiáng)腐蝕試劑、有機(jī)流動(dòng)相在線脫氣。