一、型號命名規則

• PF：內部灌流結構（液體走中空纖維管內，真空 / 工藝氣體通外殼側）

• F = Fluorine 氟系，全 PTFE 接液專用耐化學款（對標純水通用 PF-D）

• 數字（03/05/10/13/28）：流量規格；后綴 (T)= 低阻低壓損改良型

二、核心材質（與 PF-D 最大區別）

1. 中空纖維膜芯：PTFE 聚四氟乙烯超薄透氣膜，透氣不透藥液、耐強腐蝕

2. 全部接液部件：氟樹脂一體成型，無普通塑料、無橡膠析出

3. 外殼標配不銹鋼；密封、接頭全氟材質

4. 規避離子溶出、被藥液溶脹腐蝕問題

三、脫氣原理

四、核心產品優勢

1. 耐化學腐蝕

   耐受 HF 、濃鹽酸、強堿、蝕刻液、剝離液、IPA、丙酮、各類光刻膠 / 稀釋劑、有機溶劑，半導體強腐蝕藥液適配 PF 系列。

2. 零金屬離子污染

   接液無金屬、無普通橡膠，滿足 8/12 寸晶圓高潔凈制程要求。

3. 可反向沖洗再生

   內部灌流結構，雜質不易堵膜；定期反向沖洗恢復脫氣效率，耗材壽命更長。

4. 高脫氣效率

   PTFE 超薄皮層，小體積搭載超大膜面積，小流量藥液也能穩定脫氣。

5. 一體兩用

   真空脫泡除氧 / 加壓溶氮氣二合一，減少管路、節省機柜空間。

6. 低析出、不溶脹

   有機溶劑長期浸泡不變形、不滲漏、無有機物溶出污染藥液。

五、主流型號標準參數（通用標準型）

低壓力損失 T 系列（大流量高粘度藥液優選）

六、適配介質（PF-F ，PF-D 不可用）

• 強酸：HF、HCl、H?SO?、磷酸、各類蝕刻酸液

• 強堿：氨水、KOH、NaOH、顯影液、剝離液

• 有機溶劑：IPA、丙酮、PGMEA、光刻膠稀釋劑、醇類、酯類

• 功能性藥液：CMP 研磨液、光阻、清洗溶劑、溶劑型噴墨墨水

七、典型應用場景

1. 半導體晶圓制程

   光刻膠供液脫泡、蝕刻 / 剝離 / 顯影藥液除氧、濕法腐蝕槽脫氣、CMP 研磨液脫泡，消除氣泡導致的晶圓針孔、斷線不良。

2. LCD/OLED 面板制造

   彩色光阻、顯影液、蝕刻液、剝離液在線脫氣，提升涂布均勻性。

3. 精密噴墨打印

   溶劑型工業墨水脫氣，杜絕噴頭堵孔、斷墨。

4. 化工 / 實驗室精密分析

   強腐蝕試劑、有機流動相在線脫氣。