一、產(chǎn)品定位

二、核心材質(zhì)與防靜電性能

1. 筆身閥體：碳纖維導(dǎo)電尼龍（TORACA），表面電阻率10?～10?Ω，完整泄放靜電，杜絕 CMOS、薄晶圓靜電擊穿

2. 內(nèi)部閥芯密封：氟樹脂，氣密性強(qiáng)、低析出、耐微量酸堿氣體

3. 吸頭吸盤（XX-CP 系列）：導(dǎo)電 PEEK，高韌性、不發(fā)塵、不劃傷硅片 / 光學(xué)鏡片，無(wú)金屬污染

4. 整機(jī)無(wú)金屬外露，滿足 Class100 潔凈室微粒管控標(biāo)準(zhǔn)

三、三大閥體基礎(chǔ)型號(hào)（C001/C002/C003）

1. C001（NC 常閉型，通用）

2. C002（NO 常開(kāi)型）

3. C003（NO+SW 自鎖款，主力長(zhǎng)時(shí)作業(yè)款）

四、后綴接頭代號(hào)（X/Y/Z）

• X（106 萬(wàn)向球頭）：360° 自由旋轉(zhuǎn)，多角度傾斜取片，狹小機(jī)臺(tái)空間優(yōu)選

• Y（103 固定式直接頭）：管路垂直穩(wěn)定，無(wú)晃動(dòng)，重載大尺寸晶圓搬運(yùn)

• Z（110 伸縮可調(diào)接頭）：可微調(diào)桿長(zhǎng)，適配高低不同載臺(tái)

五、防靜電吸頭規(guī)格（XX-CP 導(dǎo)電吸盤）

• 90-CP：4 寸晶圓專用

• 91-CP：6 寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓

• 95-CP：5 寸薄晶圓

• 96-CP：8 寸大尺寸晶圓

• 97-CP：通用 6 寸、SiC 碳化硅晶圓（市面常用）

• 98/99-CP：12 寸大晶圓、超薄拋光片

六、關(guān)鍵性能參數(shù)

1. 負(fù)壓適配：0 ~ -80kPa 無(wú)級(jí)調(diào)壓，普通隔膜真空泵即可配套，無(wú)需氮?dú)鈿庠?/p>

2. 吸附負(fù)載：0.1g ~ 500g，輕薄芯片至整片硅片均可穩(wěn)定抓取

3. 潔凈特性：內(nèi)壁鏡面拋光，極低微粒脫落，兼容黃光光刻無(wú)塵室

4. 耐用優(yōu)勢(shì)：碳纖維尼龍機(jī)身抗磕碰，對(duì)比 PTFE 氟塑料 F 系列更抗摔，產(chǎn)線高頻使用壽命更長(zhǎng)

七、典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體：硅 / 碳化硅晶圓、光刻片、劃片、封裝、探針臺(tái)取放

2. 光電行業(yè)：光學(xué)鏡片、濾光片、攝像頭玻璃、Mini/Micro LED 基板

3. 精密電子：CMOS 芯片、PCB 微元件、熱敏靜電敏感元器件

4. 實(shí)驗(yàn)室：精密樣品、薄玻璃、陶瓷基片無(wú)損轉(zhuǎn)移