一、產品定位

二、核心材質與防靜電性能

1. 筆身閥體：碳纖維導電尼龍（TORACA），表面電阻率10?～10?Ω，完整泄放靜電，杜絕 CMOS、薄晶圓靜電擊穿

2. 內部閥芯密封：氟樹脂，氣密性強、低析出、耐微量酸堿氣體

3. 吸頭吸盤（XX-CP 系列）：導電 PEEK，高韌性、不發塵、不劃傷硅片 / 光學鏡片，無金屬污染

4. 整機無金屬外露，滿足 Class100 潔凈室微粒管控標準

三、三大閥體基礎型號（C001/C002/C003）

1. C001（NC 常閉型，通用）

2. C002（NO 常開型）

3. C003（NO+SW 自鎖款，主力長時作業款）

四、后綴接頭代號（X/Y/Z）

• X（106 萬向球頭）：360° 自由旋轉，多角度傾斜取片，狹小機臺空間優選

• Y（103 固定式直接頭）：管路垂直穩定，無晃動，重載大尺寸晶圓搬運

• Z（110 伸縮可調接頭）：可微調桿長，適配高低不同載臺

五、防靜電吸頭規格（XX-CP 導電吸盤）

• 90-CP：4 寸晶圓專用

• 91-CP：6 寸標準晶圓

• 95-CP：5 寸薄晶圓

• 96-CP：8 寸大尺寸晶圓

• 97-CP：通用 6 寸、SiC 碳化硅晶圓（市面常用）

• 98/99-CP：12 寸大晶圓、超薄拋光片

六、關鍵性能參數

1. 負壓適配：0 ~ -80kPa 無級調壓，普通隔膜真空泵即可配套，無需氮氣氣源

2. 吸附負載：0.1g ~ 500g，輕薄芯片至整片硅片均可穩定抓取

3. 潔凈特性：內壁鏡面拋光，極低微粒脫落，兼容黃光光刻無塵室

4. 耐用優勢：碳纖維尼龍機身抗磕碰，對比 PTFE 氟塑料 F 系列更抗摔，產線高頻使用壽命更長

七、典型應用場景

1. 半導體：硅 / 碳化硅晶圓、光刻片、劃片、封裝、探針臺取放

2. 光電行業：光學鏡片、濾光片、攝像頭玻璃、Mini/Micro LED 基板

3. 精密電子：CMOS 芯片、PCB 微元件、熱敏靜電敏感元器件

4. 實驗室：精密樣品、薄玻璃、陶瓷基片無損轉移