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| 熱式流量控制器 產品技術參數表 | |
| 項目 | 參數規格 |
| 傳感器類型 | 熱式繞線型 |
| 適用氣體※1 | N? (可根據氣體轉換功能適用Air、H?、He、Ar、O?、CO?、CH?) |
| 流量量程※3 (0℃, 1atm) | 10、30、50、100、300、500sccm；1、3、5、10slm |
| 控制范圍 | 2-100%FS |
| 響應性 | 所有量程控制范圍1秒以內(within±2%F.S. typical) |
| 精度 | ±1.0%S.P. (>35%F.S.)；±0.35%FS. (≤35%F.S.) |
| 重現性 | ±0.2%FS |
| 動作壓差※4 | 50-300kPa (L:50~149kPa、H:150～300kPa) |
| 入口最大壓力 | 500kPa(G) |
| 耐壓 | 980kPa(G) |
| 外部泄漏率 | 1.0×10?? Pa·m3/sec(He)以下 |
| 允許環境溫度 | 5~50℃ |
| 精度保證溫度 | 15~35℃ |
| 允許保存溫度 | -10～60℃ |
| 允許環境濕度 | 10～90%RH(未出現冷凝) |
| 與氣體接觸部位材質 | SUS316、SUS316L、磁性不銹鋼、PTFE、PCTFE、FKM |
| 電氣連接 | Dsub9針 KFC Standard(依據SEMI standard)；RJ-45模塊化插孔×2 |
| 流量設置信號 | V:0~5VDC(輸入抗阻1MΩ以上) / I:4～20mA(輸入抗阻250Ω以上) |
| 流量輸出信號 | V:0～5VDC(最小負載電阻10Ω以上) / I:4~20mA(最小負載電阻500Ω以上) |
| 數字通信 | RS485旋轉開關地址設置 可選(MODBUS-RTU 9600bps) |
| 所需電源 | 24VDC(±10%) 300mA以下 |
| 接頭規格 | 1/4SW(標準) |
| 安裝方位 | 建議水平方向 |
| 重量 | MFC:約500g |
