一、數(shù)字顯示氣體流量控制器定位與原理（熱式、數(shù)字閉環(huán)、壓電閥）

• 定位：全數(shù)字熱式質(zhì)量流量控制器（MFC）；SEF?Z500X 為對(duì)應(yīng)質(zhì)量流量計(jì)（MFM，無(wú)控制閥）。

• 原理（熱毛細(xì)管 + 數(shù)字補(bǔ)償 + 壓電閥閉環(huán)）

  1. 分流：主路直通，旁路熱式傳感器測(cè)溫差→質(zhì)量流量信號(hào)；

  2. 數(shù)字化：32 位 CPU + 多項(xiàng)式全量程線性補(bǔ)償；

  3. 多氣體 / 量程：內(nèi)置100 + 氣體庫(kù)，軟件切換量程 / 氣體，不用拆表、不用換硬件；

  4. 執(zhí)行：高速壓電陶瓷閥（同 Z700S/UR?Z700），Variable PID 自適應(yīng)整定

二、數(shù)字顯示氣體流量控制器核心參數(shù)

• 流量范圍（N?當(dāng)量）：5 sccm～500 slm；單臺(tái)可軟件切換 3 檔量程（如 100/200/500 slm）。

• 精度：±1.0% S.P.（設(shè)定值）；全流量段多項(xiàng)式補(bǔ)償。

• 重復(fù)精度：≤±0.15% S.P.

• 動(dòng)態(tài)范圍：10:1～50:1（依型號(hào)）。

• 響應(yīng)時(shí)間：≤1 秒（全量程 T98）；Variable PID 自動(dòng)優(yōu)化。

• 壓力規(guī)格：入口0.1–0.5 MPa（表壓）；無(wú)內(nèi)置壓力補(bǔ)償（壓力波動(dòng) >±5% 需上游穩(wěn)壓，如 UR?Z700）。

• 通信：

  • 標(biāo)準(zhǔn)：模擬（0–5V/4–20mA）+ RS?485；

  • 可選：DeviceNet / EtherCAT（半導(dǎo)體主流）。

• 材質(zhì)：SUS316L 全金屬 + 金屬隔膜；超潔凈拋光 Ra≤0.4μm；氦漏率 ≤5×10?¹² Pa?m³/s。

• 兼容氣體：Ar、N?、O?、H?、He、CF?、SF?、NH?、Cl?等高純 / 腐蝕氣體。

• 溫度：5–60℃；濕度≤90% RH（無(wú)凝露）。

• 供電：±15VDC 或 24VDC。

• 重量：約1.2kg；任意姿態(tài)安裝。
  
  
  

• 三、數(shù)字顯示氣體流量控制器核心優(yōu)勢(shì)

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  • 壓電閥無(wú)機(jī)械磨損，壽命 > 10?次；

  • 半導(dǎo)體 / 光伏 / LED 量產(chǎn)線標(biāo)配

  • EtherCAT/DeviceNet/RS?485 可選，遠(yuǎn)程設(shè)定 / 讀取 / 診斷；

  • 支持多臺(tái)組網(wǎng)、數(shù)據(jù)追溯、報(bào)警日志。

  • 多項(xiàng)式全量程補(bǔ)償，小流量（5–10% FS）精度穩(wěn)定；

  • Variable PID：換氣體 / 量程自動(dòng)整定 PID，不用人工調(diào)參。

  • 無(wú)橡膠 / PTFE 彈性體，適配 Cl?、HF、NH?等強(qiáng)腐蝕氣；

  • 死體積小、吹掃快、殘留低，適合 ALD / 微量制程。

  • 內(nèi)置100 + 工廠標(biāo)定氣體，支持自定義氣體；

  • 單臺(tái)覆蓋3 檔量程，不用換 MFC、不用拆氣路；

  • 直接減少70% 備件種類與庫(kù)存成本。

  • 多氣體 + 多量程，現(xiàn)場(chǎng)一鍵切換
     
  • 全金屬超潔凈，低殘留易吹掃
     
  • ±1% 高精度 +≤1 秒快響應(yīng)
     
  • 數(shù)字通信 + 遠(yuǎn)程監(jiān)控，適配自動(dòng)化
     
  • 高可靠 + 長(zhǎng)壽命