激光塵埃粒子計數器是潔凈車間環境監測的核心設備,通過激光散射原理精確測量空氣中不同粒徑的塵埃粒子數量,用于評定潔凈區的懸浮粒子潔凈度等級。以下為十萬級潔凈區使用該設備的標準化流程與要求。

一、測試前準備
設備預熱與自凈:將儀器置于待測環境,開機后預熱至穩定狀態(通常需10分鐘以上)。使用專用自凈口導管連接采樣口進行自凈清零操作,確保傳感器內無殘留粒子干擾,待計數穩定后方可開始測試。
環境條件確認:測試前需確認潔凈區的溫濕度、靜壓差符合規定要求,且潔凈區已完成消毒。通常溫度控制在18-26℃,相對濕度45%-65%,且需在凈化空調系統正常運行不少于30分鐘后開始測試。
二、采樣點布置
測點數量:根據潔凈區面積確定最少采樣點。對于十萬級潔凈區,面積小于10m2至少布置2個測點,10-20m2至少4個,20-40m2至少8個。
測點位置:采樣點應均勻分布于潔凈區內,避免過于集中或稀疏。采樣口高度應為距地面0.8-1.5m(通常取1.0-1.2m),略高于工作面高度。關鍵設備或關鍵工作活動區域可增加額外測點。
三、參數設定與采樣
采樣參數設置:根據潔凈等級設定采樣量。十萬級潔凈區采集≥0.5μm粒子時,單次采樣量應大于2.83L;采集≥5μm粒子時,采樣量應大于8.5L。設置測量周期(通常為1-3分鐘)、粒徑通道(≥0.5μm和≥5.0μm)等參數。
采樣操作:每個采樣點需連續采樣3次,取平均值作為該點結果。采樣時確認計數穩定后方可讀數,采樣管長度不得超過1.5m以防止大顆粒沉降損失。
四、安全操作要點
當入口管被堵塞時,禁止啟動計數器。
禁止在潔凈環境外使用儀器,以防損傷激光傳感器。
嚴禁使水、溶液或其它液體進入采樣口。
不得測試氫氣、氧氣等可能產生爆炸反應的氣體。
無高壓擴散器時不得取樣壓縮空氣。
測試時避免采樣口接觸松散顆粒、灰塵源或噴霧處,至少保持12英寸距離。
五、十萬級潔凈度判定標準
十萬級潔凈區懸浮粒子合格標準為:≥0.5μm粒子≤3,500,000個/m3,≥5μm粒子≤20,000個/m3。當所有采樣點平均值低于要求值,且該潔凈室全部檢測點平均值的95%置信上限(UCL值)也低于要求值時,判定為合格。